[發(fā)明專利]激光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010103396.8
• 申請(qǐng)日: 2020-02-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110932061B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡明元;劉樹(shù)林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京泰普森自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/02
• 分類號(hào): H01S3/02;H01S3/00
• 代理公司: 北京市維詩(shī)律師事務(wù)所 11393
• 代理人: 李翔;楊安進(jìn)

1.激光裝置，對(duì)外部的工作對(duì)象進(jìn)行光學(xué)處理，其特征在于，該激光裝置包括：

第一腔室(10)，該第一腔室(10)內(nèi)設(shè)置有具有光學(xué)鏡片組件的激光光源；

第二腔室(11)，該第二腔室(11)與所述第一腔室(10)通過(guò)隔離壁(12)間隔開(kāi)，所述隔離壁(12)設(shè)置有連通所述第一腔室(10)和第二腔室(11)的光路通孔(121)，以允許所述激光光源產(chǎn)生的激光從所述第一腔室(10)穿過(guò)所述隔離壁(12)而發(fā)射至所述第二腔室(11)；

抽吸源和進(jìn)氣源，該抽吸源和進(jìn)氣源與所述第二腔室(11)的內(nèi)腔相連通，所述抽吸源的抽氣量大于所述進(jìn)氣源的進(jìn)氣量，使所述第二腔室(11)內(nèi)的氣壓低于所述第一腔室(10)內(nèi)的氣壓；以及

壓力源，該壓力源與所述第一腔室(10)的內(nèi)腔相連通，該壓力源包括過(guò)濾機(jī)構(gòu)，使外部環(huán)境中的空氣先經(jīng)過(guò)過(guò)濾再進(jìn)入到所述第一腔室(10)，通過(guò)所述壓力源不斷向所述第一腔室(10)內(nèi)注入空氣，以在工作狀態(tài)下使所述第一腔室(10)內(nèi)的氣壓高于所述第二腔室(11)內(nèi)氣壓；

其中，所述第二腔室(11)的朝向所述光路通孔(121)的側(cè)壁(111)上設(shè)置有與所述光路通孔(121)對(duì)齊的開(kāi)口(112)，所述進(jìn)氣源供給潔凈氣體并與抽吸源的共同作用，以避免外部雜質(zhì)通過(guò)所述開(kāi)口(112)進(jìn)入到所述第二腔室(11)內(nèi)，同時(shí)能夠及時(shí)通過(guò)氣體的流動(dòng)帶走所述第二腔室(11)內(nèi)的雜質(zhì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述隔離壁(12)可拆卸地安裝在所述第一腔室(10)和第二腔室(11)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述光路通孔(121)的截面形狀為圓形或多邊形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，所述開(kāi)口(112)為可封閉或打開(kāi)的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的激光裝置，其特征在于，在工作狀態(tài)下，所述第一腔室(10)內(nèi)為正壓環(huán)境。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于，在工作狀態(tài)下，該激光裝置具有從所述第一腔室(10)通過(guò)所述光路通孔(121)流向所述第二腔室(11)的氣流。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于，

所述第一腔室(10)內(nèi)的溫度為可調(diào)節(jié)的；和

所述第一腔室(10)具有屏蔽外部雜質(zhì)的過(guò)濾件或密封件。