[發明專利]一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法

有效

• 申請號: 202010101582.8
• 申請日: 2020-02-19
• 公開（公告）號: CN111302516B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 金炳生
• 申請（專利權）人: 晶瑞電子材料股份有限公司
• 主分類號: C02F9/00
• 分類號: C02F9/00;G03F7/42;C02F1/38;C02F1/00;C02F1/28;C02F103/34
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙) 11446
• 代理人: 謝清萍;武玉琴

1.一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）對光刻膠剝離液廢液進行離心分離處理，以去除所述光刻膠剝離液廢液中的高分子固體物質；

（2）向經過步驟（1）處理的所述光刻膠剝離液廢液中加入活性炭，以進行脫色處理，脫色處理后，再經過濾得到無色回收液；

（3）向步驟（2）得到的無色回收液中加入改性硅藻土，經過攪拌吸附處理后，再經壓濾后，去除改性硅藻土吸附劑，得到回收后的光刻膠剝離液可用物；其中，所述改性硅藻土是采用氫氧化鈉溶液和聚醚酰亞胺溶液依次對硅藻土進行改性處理得到；在所述改性硅藻土的制備過程中，所述氫氧化鈉溶液與所述硅藻土的質量比以及所述聚醚酰亞胺溶液與所述硅藻土的質量比均為4:1，改性時間均為40min，改性溫度均為80℃，所述改性硅藻土的用量為所述光刻膠剝離液廢液質量的5~10%；

（4）測定得到的所述光刻膠剝離液可用物中的有用成分含量，根據測定的有用成分含量，向回收的所述光刻膠剝離液可用物中補足所需的光刻膠剝離液有效成分及用量，形成再生光刻膠剝離液；

所述的光刻膠剝離液廢液包括單乙醇胺、水和光刻膠，還包括二乙二醇單丁醚或N-甲基吡咯烷酮。

2.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：步驟（1）中的離心分離處理的方式為轉鼓沉降離心方式。

3.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：步驟（2）中，加入所述活性炭之前，先將所述光刻膠剝離液廢液加熱至80~90℃。

4.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：步驟（2）中，所述活性炭的用量為所述光刻膠剝離液廢液質量的1~10%。

5.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻膠剝離液廢液還包括二甲基亞砜。

6.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻膠剝離液廢液含有20％重量的單乙醇胺、75％重量的二乙二醇單丁醚、2％重量的水以及3％重量的光刻膠。

7.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻膠剝離液廢液含有10％重量的單乙醇胺、60％重量的二乙二醇單丁醚、2.5％重量的水、24％重量的二甲基亞砜以及3.5％重量的光刻膠。

8.根據權利要求1所述的一種光刻膠剝離液廢液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻膠剝離液廢液含有16％重量的單乙醇胺、29％重量的N-甲基吡咯烷酮、1％重量的水、50％重量的二甲基亞砜以及4％重量的光刻膠。