[發明專利]一種光纖氣體壓力傳感器及其制備方法

有效

• 申請號: 202010101071.6
• 申請日: 2020-02-19
• 公開（公告）號: CN111272330B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 魏翔宇;冉玲苓;楊九如;宋小康;沈中輝;李唱;侯靚濤;李昭軍
• 申請（專利權）人: 黑龍江大學
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02
• 代理公司: 哈爾濱市文洋專利代理事務所(普通合伙) 23210
• 代理人: 何強

1.光纖氣體壓力傳感器的制備方法，其特征在于，該光纖氣體壓力傳感器為FPI光纖氣體傳感器；該光纖氣體壓力傳感器由空芯光纖、單模光纖和聚二甲基硅氧烷薄膜構成，其中空芯光纖一端與單模光纖熔接，空芯光纖另一端用薄膜封堵；單模光纖與空芯光纖的熔接處與封堵薄膜之間形成封閉式空氣微腔；上述光纖氣體壓力傳感器按以下步驟制備：

一、單模光纖與空芯光纖熔接，然后切割成所需長度，形成光纖氣體壓力傳感器初結構；

二、將光纖氣體壓力傳感器初結構的空芯光纖一端蘸取聚二甲基硅氧烷液體；

三、若初結構中蘸取的聚二甲基硅氧烷薄膜初始厚度大于預定薄膜厚度，則用干凈的單模光纖蘸取多余的聚二甲基硅氧烷液體；若初結構中蘸取的聚二甲基硅氧烷薄膜初始厚度小于預定薄膜厚度，則用粘有聚二甲基硅氧烷液體的光纖接觸初結構空芯光纖端，至初結構中聚二甲基硅氧烷薄膜厚度達到預定薄膜厚度；

四、固化聚二甲基硅氧烷薄膜，即得到光纖氣體壓力傳感器。

2.根據權利要求1所述的光纖氣體壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟三中用于蘸取多余聚二甲基硅氧烷液體的單模光纖伸入初結構的部分直徑小于空芯光纖內徑。

3.根據權利要求1所述的光纖氣體壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟三中粘有聚二甲基硅氧烷液體的光纖用其上的聚二甲基硅氧烷液體接觸初結構的空芯光纖端上沿或下沿。

4.根據權利要求1所述的光纖氣體壓力傳感器的制備方法，其特征在于，聚二甲基硅氧烷液體由Sylgard 184-A和Sylgard 184-B按照10:1的比例混合。

5.根據權利要求1所述的光纖氣體壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟四固化溫度為70℃、 固化時間為6小時。