[發明專利]一種MEMS傳感器的懸梁結構

有效

• 申請號: 202010100937.1
• 申請日: 2020-02-19
• 公開（公告）號: CN111285324B
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 龍克文
• 申請（專利權）人: 三橋惠（佛山）新材料有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 肖平安

1.一種MEMS傳感器的懸梁結構，包括懸梁本體（1），其特征在于，所述懸梁本體（1）由第一懸梁板（2）和第二懸梁板（3）組成，所述第二懸梁板（3）固定連接在第一懸梁板（2）的下端一側，所述第一懸梁板（2）的下端另一側開設有凹槽（5），所述凹槽（5）上方的第一懸梁板（2）內部開設有滑槽（4），所述滑槽（4）和凹槽（5）相通，所述滑槽（4）的內部設置有滑板（6），所述滑板（6）遠離第二懸梁板（3）的一端延伸至第一懸梁板（2）的外部，所述滑板（6）的下端固定連接有若干彈性支柱（7），相鄰兩個所述彈性支柱（7）之間的距離均相同，且相鄰兩個所述彈性支柱（7）之間均固定連接有連接板（8），所述第二懸梁板（3）的下端通過安裝機構（9）連接有安裝座（13），所述安裝座（13）的下端固定連接有安裝板（14），所述第二懸梁板（3）的下端中部開設有第三卡槽（15）；

所述安裝機構（9）包括固定殼（91），所述固定殼（91）的下端和安裝座（13）的上端固定連接，所述固定殼（91）的內部開設有第一卡槽（92），所述第一卡槽（92）的開口處位于固定殼（91）的上端，所述第一卡槽（92）的內側壁上涂有第一錫膏層（95），所述第一卡槽（92）的內部下端固定連接有卡塊（94），所述第二懸梁板（3）卡接在第一卡槽（92）的內部，所述卡塊（94）卡接在第三卡槽（15）的內部，所述卡塊（94）的外側壁上涂有第二錫膏層（96）。

2.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述彈性支柱（7）包括固定板（71），所述固定板（71）的上端和滑板（6）的下端固定連接，所述固定板（71）位于凹槽（5）的內部，所述固定板（71）的下端固定連接有擋板（72），所述擋板（72）的下端固定連接有彈性柱體（73），所述彈性柱體（73）的下端固定連接有底板（74）。

3.根據權利要求2所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述擋板（72）前后部之間的距離比凹槽（5）前后部之間的距離大，所述擋板（72）的上端抵在第一懸梁板（2）的下端。

4.根據權利要求2所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述彈性柱體（73）呈T型結構，所述連接板（8）固定連接在相鄰兩個彈性柱體（73）相向的一側側壁上。

5.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述固定殼（91）前后左右的四側側壁均開設有若干散熱孔（93），所述散熱孔（93）均和第一卡槽（92）的內部相通。

6.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述第一卡槽（92）的內側壁通過第一錫膏層（95）和第二懸梁板（3）的外側壁焊接，所述卡塊（94）的外側壁通過第二錫膏層（96）和第三卡槽（15）的內側壁焊接。

7.根據權利要求1所述的一種MEMS傳感器的懸梁結構，其特征在于，所述第二懸梁板（3）的外側壁固定套接有卡蓋（10），所述卡蓋（10）的內部開設有第二卡槽（11），所述第二卡槽（11）的開口處位于卡蓋（10）的下端，所述第二卡槽（11）前后左右的四側內側壁均固定連接有內襯（12），所述內襯（12）的內側壁和固定殼（91）上端的外側壁相抵接觸。