[發明專利]聚焦離子束雜質鑒定

有效

• 申請號: 202010100620.8
• 申請日: 2020-02-18
• 公開（公告）號: CN111579890B
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發明（設計）人: J.格雷厄姆;L.克拉爾
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01R29/24
• 分類號: G01R29/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;陳嵐

1.一種用于離子束的系統，其包括：

磁力分散器，所述磁力分散器配置成在分析模式下運行；

離子束柱，所述離子束柱配置成將離子束引導到襯底，

其中在所述分析模式下，所述磁力分散器通電以將所述離子束偏轉為一個或多個分量束；以及

其中所述磁力分散器是聯接到透鏡驅動器的帶電粒子束磁力透鏡，其中所述帶電粒子束磁力透鏡進一步配置成在成像模式下運行，其中在所述成像模式下，所述帶電粒子束磁力透鏡與所述襯底的成像相關聯，并且其中帶電粒子束是電子束。

2.根據權利要求1所述的系統，其中在所述分析模式下，所述透鏡驅動器配置成施加分析激發，并且在所述成像模式下，所述透鏡驅動器配置成施加大于所述分析激發的成像激發。

3.根據權利要求2所述的系統，其中所述成像激發的幅值至少10倍于所述分析激發的幅值。

4.根據權利要求1所述的系統，其進一步包括：離子束收集器，在所述分析模式下，所述透鏡驅動器配置成施加分析激發，所述離子束收集器定位成響應于分析激發而選擇性地接收所述離子束的各個分量束，并且其進一步包括：致動器，所述致動器聯接到所述離子束收集器并且配置成響應于所述分析激發而移動所述離子束收集器以接收所述離子束的各個分量束。

5.根據權利要求4所述的系統，其中所述離子束收集器是法拉第杯。

6.根據權利要求4所述的系統，其中所述透鏡驅動器可運行以提供多個分析激發。

7.根據權利要求6所述的系統，其中所述透鏡驅動器可運行以將所述離子束的一個或多個分量選擇性地引導到離子束檢測器，并且其中所述離子束檢測器包含孔板，所述孔板限定對受選擇性引導的一個或多個離子束分量而言可透射的孔。

8.根據權利要求1所述的系統，其進一步包括：控制器，所述控制器聯接到所述透鏡驅動器以選擇分析激發或成像激發以供施加到所述帶電粒子束磁力透鏡，所述控制器配置成估計與所述一個或多個分量束中的至少一個分量束相關聯的束電流。

9.根據權利要求8所述的系統，其進一步包括：離子束檢測器和致動器，其中所述控制器聯接到所述離子束檢測器和所述致動器并且基于所述離子束檢測器中的至少一個電流確定所述離子束的分量的組成。

10.根據權利要求8所述的系統，其中所述控制器配置成選擇性地在所述成像模式和所述分析模式下運行所述帶電粒子束磁力透鏡，并且在所述分析模式下掃描可移動孔。

11.根據權利要求1所述的系統，其進一步包括：氣體歧管，所述氣體歧管聯接到離子源并且配置成將一種或多種氣體選擇性地提供到所述離子源以產生一個或多個對應的分量束。

12.根據權利要求1所述的系統，其進一步包括：顯示器，所述顯示器聯接到控制單元并且配置成指示未選擇的離子在所述離子束中的存在。

13.一種用于離子束的系統，其包括：

磁力分散器，所述磁力分散器配置成在分析模式和零模式下運行；

離子束柱，所述離子束柱配置成將離子束引導到襯底，

其中在所述分析模式下，所述磁力分散器通電以將所述離子束偏轉為一個或多個分量束；

其中所述磁力分散器是磁力短柱，以及

其中在所述零模式下，所述磁力短柱配置成減輕殘余放大以創建零場條件。

14.根據權利要求13所述的系統，其中所述磁力短柱配置成消除殘余放大。