[發明專利]一種可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法在審
| 申請號： | 202010099560.2 | 申請日： | 2020-02-18 |
| 公開（公告）號： | CN111260561A | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 魏宏斌;胡松;劉磊;位浩杰;趙立新;唐燕 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G06T3/40 | 分類號： | G06T3/40;G06T7/00;G06T7/30 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 模版 缺陷 檢測 快速 拼接 方法 | ||
1.一種可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法，其特征是：所述方法包括如下步驟：
步驟S1：橫縱Z字形步進掃描采集掩模圖像；
步驟S2：對圖像進行降噪預處理，根據步進距離預設相鄰兩幅圖像的ROI區域，對預設區域通過模板粗精匹配，確定偏移量，從而獲得相鄰兩圖重疊區域；
步驟S3：圖像融合，使用均值或中值等方法融合偏移重疊區域，非重疊區域圖像移動至重疊區域兩側，完成相鄰圖像拼接；
步驟S4：以步驟S3中的圖像為原始圖像，依次選取后幅圖像為相鄰圖像，重復步驟S2、S3，全景拼接。
2.根據權利要求1所述的可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法，其特征是：步驟S2中根據步進距離預設ROI區域，再對固定小區域模板匹配確定實際偏移距離。
3.根據權利要求1所述的可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法，其特征是：步驟S3中融合處理的區域為小數據量的重疊區域，非重疊區域做拼接處理。
4.根據權利要求1所述的可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法，其特征是：步驟S4中連續處理的原始圖像為步驟S3中的拼接完成圖像，重新選取的ROI區域為上述圖像與相鄰圖像的重疊區域。
5.根據權利要求1或2或3所述的可用于掩模版缺陷檢測的快速多圖拼接方法，其特征是：該方法屬于圖像拼接算法的一種，基于模板匹配算法原理，對大數據量的多重復圖形圖像進行快速拼接，也適用于各類平面圖像拼接。
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