[發(fā)明專利]一種掩膜板及其制備方法和蒸鍍方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010099013.4
• 申請(qǐng)日: 2020-02-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111172497B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈闊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;馮建基

本發(fā)明提供一種掩膜板及其制備方法和蒸鍍方法。該掩膜板包括主體部和支撐部，主體部設(shè)置于支撐部上，支撐部的用于蒸鍍的區(qū)域包括多個(gè)開(kāi)口區(qū)，至少部分開(kāi)口區(qū)的至少部分邊緣處設(shè)置有磁力調(diào)節(jié)部，磁力調(diào)節(jié)部被配置為調(diào)節(jié)支撐部在相應(yīng)位置處的磁力吸附強(qiáng)度的大小。該掩膜板，通過(guò)設(shè)置磁力調(diào)節(jié)部，能夠調(diào)節(jié)支撐部在相應(yīng)位置處的磁力吸附強(qiáng)度的大小，使蒸鍍?cè)O(shè)備中磁板與支撐部上開(kāi)口區(qū)整個(gè)邊緣或局部邊緣之間的吸附磁力大大增強(qiáng)，從而避免支撐部上開(kāi)口區(qū)的邊緣在蒸鍍時(shí)產(chǎn)生較大的下垂，進(jìn)而減少或避免主體部在支撐部的支撐作用下出現(xiàn)褶皺下垂和局部的形變，提高蒸鍍良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜板及其制備方法和蒸鍍方法。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示屏幕，因其具有自發(fā)光、高對(duì)比度、響應(yīng)時(shí)間快、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示器件，已經(jīng)成為顯示技術(shù)領(lǐng)域的主流發(fā)展方向。

如今OLED屏幕市場(chǎng)前景廣闊，各大廠商都在積極研發(fā)和生產(chǎn)各種OLED屏幕，以應(yīng)對(duì)市場(chǎng)需求。目前，AMOLED顯示屏發(fā)光材料主要使用精細(xì)金屬掩模板蒸鍍到顯示基板上。蒸鍍OLED屏幕所用的掩膜板由用于定義RGB(紅綠藍(lán))子像素的精密金屬掩膜板(Fine MetalMask，F(xiàn)MM)和用于遮擋非蒸鍍區(qū)和支撐FMM的支撐掩模板(F-Mask)組成。蒸鍍用的FMM和F-Mask因自身重力會(huì)下垂，雖然在蒸鍍時(shí)，蒸鍍?cè)O(shè)備內(nèi)存在磁場(chǎng)可以吸附Mask，使其與蒸鍍基板大面積貼合，但是對(duì)于F-Mask開(kāi)口邊緣(通常對(duì)應(yīng)制備過(guò)程中母板上的各子板的邊緣)或者目前比較流行的F-Mask異形開(kāi)口處(對(duì)應(yīng)母板上的各子板的邊緣為異形，即不規(guī)則形狀的子板)，因異形開(kāi)口在均勻分布磁場(chǎng)強(qiáng)度下，F(xiàn)-Mask的局部翹曲或下凹很難改善，因此FMM也會(huì)出現(xiàn)局部翹曲和褶皺，從而存在蒸鍍偏差混色的風(fēng)險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)蒸鍍時(shí)F-Mask開(kāi)口邊緣或異形開(kāi)口處在均勻分布的磁場(chǎng)強(qiáng)度下其局部翹曲或下凹所導(dǎo)致的FMM局部翹曲和褶皺，以致出現(xiàn)蒸鍍偏差混色的問(wèn)題，提供一種掩膜板及其制備方法和蒸鍍方法。該掩膜板，能使蒸鍍?cè)O(shè)備中磁板與支撐部上開(kāi)口區(qū)整個(gè)邊緣或局部邊緣之間的吸附磁力大大增強(qiáng)，從而避免支撐部上開(kāi)口區(qū)的邊緣在蒸鍍時(shí)產(chǎn)生較大的下垂，進(jìn)而減少或避免主體部在支撐部的支撐作用下出現(xiàn)褶皺下垂和局部的形變，減小或避免出現(xiàn)蒸鍍膜層混色不良，提高蒸鍍良率。

本發(fā)明提供一種掩膜板，包括主體部和支撐部，所述主體部設(shè)置于所述支撐部上，所述支撐部的用于蒸鍍的區(qū)域包括多個(gè)開(kāi)口區(qū)，至少部分所述開(kāi)口區(qū)的至少部分邊緣處設(shè)置有磁力調(diào)節(jié)部，所述磁力調(diào)節(jié)部被配置為調(diào)節(jié)所述支撐部在相應(yīng)位置處的磁力吸附強(qiáng)度的大小。

可選地，所述磁力調(diào)節(jié)部設(shè)置于所述支撐部的背離所述主體部的一側(cè)。

可選地，所述磁力調(diào)節(jié)部為磁力吸附強(qiáng)度大于所述支撐部的磁力吸附強(qiáng)度的導(dǎo)磁結(jié)構(gòu)。

可選地，所述磁力調(diào)節(jié)部為導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)能通入不同大小的電流，以使其具有不同大小的磁力吸附強(qiáng)度；

所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)與所述支撐部之間還設(shè)置有絕緣層。

可選地，所述導(dǎo)磁結(jié)構(gòu)的材料包括鐵鈷軟磁合金或鐵鎳鈷合金。

可選地，所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)具有的磁力吸附強(qiáng)度大小與其通入的電流大小成正比。

可選地，所述支撐部的各所述開(kāi)口區(qū)具有相同的規(guī)則矩形邊緣，

所述支撐部的各所述開(kāi)口區(qū)的邊緣都設(shè)置有所述磁力調(diào)節(jié)部。

可選地，所述支撐部的各所述開(kāi)口區(qū)具有至少一段大小形狀相同的不規(guī)則邊緣，各所述開(kāi)口區(qū)的不規(guī)則邊緣處設(shè)置有磁力吸附強(qiáng)度相同的所述磁力調(diào)節(jié)部。

可選地，所述支撐部的各所述開(kāi)口區(qū)具有大小形狀相同的不規(guī)則矩形邊緣，各所述開(kāi)口區(qū)的四個(gè)角的邊緣線為曲率相同的弧線，