[發(fā)明專利]放電燈及紫外線照射裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010098991.7
• 申請(qǐng)日: 2020-02-18
• 公開（公告）號(hào): CN112447493A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田一輝;堀內(nèi)正和;峯山智行
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東芝照明技術(shù)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J61/36
• 分類號(hào): H01J61/36;H01J61/52
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明提供一種能夠抑制機(jī)械強(qiáng)度的下降的放電燈及紫外線照射裝置。本發(fā)明的放電燈具備發(fā)光管、密封部、金屬箔、內(nèi)部引線及緩沖材料。發(fā)光管在其內(nèi)部設(shè)置有電極。密封部配置在發(fā)光管的兩端并且密封電極的端部。金屬箔埋設(shè)在密封部，金屬箔的一端部與電極連接。內(nèi)部引線的一端部與金屬箔的另一端部連接，其另一端部從密封部引出。緩沖材料包圍內(nèi)部引線中的埋設(shè)于密封部的第一部分的周圍。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及一種放電燈及紫外線照射裝置。

背景技術(shù)

例如，在半導(dǎo)體的曝光工序、UV(ultraviolet/紫外線固化型)油墨或UV涂料的干燥工序、樹脂的固化工序等中，為了利用紫外線發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，使用放電燈作為發(fā)出紫外線的光源。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平4-106860號(hào)公報(bào)

然而，放電燈會(huì)隨著點(diǎn)亮而發(fā)熱。放電燈由熱膨脹系數(shù)不同的多個(gè)部件構(gòu)成，因而隨著反復(fù)進(jìn)行點(diǎn)燈和熄燈，機(jī)械強(qiáng)度會(huì)下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于提供一種能夠抑制機(jī)械強(qiáng)度的下降的放電燈及紫外線照射裝置。

實(shí)施方式的放電燈具備發(fā)光管、密封部、金屬箔、內(nèi)部引線及緩沖材料。發(fā)光管在其內(nèi)部設(shè)置有電極。密封部配置在發(fā)光管的兩端并且密封電極的端部。金屬箔埋設(shè)在密封部，金屬箔的一端部與電極連接。內(nèi)部引線的一端部與金屬箔的另一端部連接，其另一端部從密封部引出。緩沖材料包圍內(nèi)部引線中的埋設(shè)于密封部的第一部分的周圍。

實(shí)施方式的紫外線照射裝置具備：上述放電燈；及冷卻機(jī)構(gòu)，冷卻所述放電燈。

根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制機(jī)械強(qiáng)度的下降。

附圖說明

圖1是表示實(shí)施方式所涉及的放電燈的示意圖。

圖2是表示實(shí)施方式所涉及的放電燈中的密封部附近的圖。

圖3是表示實(shí)施方式所涉及的放電燈中的設(shè)置于密封部附近的緩沖材料的剖視圖。

圖4是表示緩沖材料與不合格率之間的關(guān)系的圖。

圖中：1-紫外線照射裝置，5-放電燈，6-發(fā)光管，6a-放點(diǎn)空間，7-電極，11-密封部，12-保溫膜，13-燈頭部件，14-外部引線，15-保持管，16-內(nèi)部引線，16a-第一部分，20-緩沖材料。

具體實(shí)施方式

以下說明的實(shí)施方式所涉及的放電燈5具備發(fā)光管6、密封部11、金屬箔10、內(nèi)部引線16及緩沖材料20。發(fā)光管6在其內(nèi)部設(shè)置有電極7。密封部11配置在發(fā)光管6的兩端并且密封電極7的端部。金屬箔10埋設(shè)在密封部11，其一端部與電極7連接。內(nèi)部引線16的一端部與金屬箔10的另一端部連接，內(nèi)部引線16的另一端部則從密封部11引出。緩沖材料20包圍內(nèi)部引線16中的埋設(shè)在密封部11的第一部分16a的周圍。

并且，以下說明的實(shí)施方式所涉及的內(nèi)部引線16的、沿長(zhǎng)度方向延伸的第一部分16a的長(zhǎng)度L1(mm)及緩沖材料20的長(zhǎng)度L2(mm)具有L1≥L2的關(guān)系。

并且，以下說明的實(shí)施方式所涉及的L1(mm)及長(zhǎng)度L2(mm)具有0.125≤(L2/L1)≤1的關(guān)系。

并且，以下說明的實(shí)施方式所涉及的緩沖材料20的厚度d(μm)具有10≤d≤50的關(guān)系。

并且，以下說明的實(shí)施方式所涉及的緩沖材料20為金屬箔。

并且，以下說明的實(shí)施方式所涉及的紫外線照射裝置1具備放電燈5及冷卻放電燈5的冷卻機(jī)構(gòu)3。

以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式所涉及的放電燈進(jìn)行說明。另外，以下實(shí)施方式僅為一例，其并不用于限定本發(fā)明。并且，在各附圖中，對(duì)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號(hào)并適當(dāng)省略重復(fù)說明。