[發明專利]加工裝置

有效

• 申請號: 202010097118.6
• 申請日: 2020-02-17
• 公開（公告）號: CN111590417B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發明（設計）人: 山中聰
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/12;B24B51/00;B24B55/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

提供加工裝置，其縮短加工裝置的待機時間。早期通知設定部(31)在第1盒(51)所收納的所有的晶片(W)的加工結束之前，例如在第1盒(51)內的晶片(W)的剩余數量成為規定數量以下時、或在特定的晶片(W)從第1盒(51)中被取出之后，根據所加工的晶片(W)的位置使指示燈(60)通知規定的信號。即，能夠在對于所有的晶片(W)的加工的結束前向作業者通知例如對于所有的晶片(W)的加工即將結束。由此，作業者能夠根據指示燈(60)所通知的信號而進行作業。由此，作業者能夠縮短磨削裝置(1)的待機時間。

技術領域

本發明涉及加工裝置。

背景技術

在利用加工器具對卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工的加工裝置中包含具有通知設備的加工裝置。通知設備用于向在遠離加工裝置的場所進行作業的作業者通知加工裝置的運轉狀態及其變化，通知設備例如是信號塔或蜂鳴器。

通知設備按照預先設定的內容進行動作(參照專利文獻1和2)。例如在信號塔中，在加工裝置正常地進行動作時，綠色的光源點亮，若加工正常結束，則使綠色的光源閃爍。另外，關于蜂鳴器，例如若加工正常結束，則發出斷續音。

專利文獻1：日本特開2009-043950號公報

專利文獻2：日本特開2012-089853號公報

上述那樣的加工裝置為了在運轉狀態發生變化時使通知設備進行動作而具有設定表，預先在該設定表中規定了運轉狀態和通知設備的動作內容。

但是，在以往的加工裝置中，如上所述，在運轉狀態改變時，向作業者通知表示該意思的信號。例如在被加工物的加工結束時，向作業者通知表示加工結束的信號。因此，在該情況下，在加工結束之后至作業者準備下一個要加工的被加工物的期間，在加工裝置中會產生待機時間。

發明內容

本發明的目的在于提供加工裝置，其縮短加工裝置的待機時間。

本發明的加工裝置(本加工裝置)具有：盒載臺，其用于載置盒，該盒具有收納被加工物的多個擱板部；機器人，其從該盒中取出被加工物，該機器人具有對該盒載臺所載置的該盒中收納的被加工物進行保持的保持部以及使該保持部在該擱板部的排列的方向上升降的升降軸；卡盤工作臺，其對從該盒中取出的該被加工物進行保持；加工單元，其通過加工器具對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行加工；以及通知設備，其向作業者通知表示加工裝置的運轉狀態的信號，其中，該加工裝置具有早期通知設定部，該早期通知設定部在該盒所收納的所有的被加工物的加工結束之前使該通知設備通知規定的信號。

本加工裝置還可以具有識別部，該識別部在該盒所收納的被加工物被取出時，識別該盒中的被加工物的剩余數量是否已成為規定數量以下。在該情況下，該早期通知設定部可以使該通知設備通知與通過該識別部識別為該剩余數量已成為規定數量以下時所取出的被加工物在該加工裝置內的位置對應的信號。

另外，本加工裝置還可以具有設定部，該設定部將該盒所收納的被加工物中的至少一個設定為特定的被加工物。在該情況下，該早期通知設定部可以使該通知設備通知與該特定的被加工物在該加工裝置內的位置對應的信號。

在本加工裝置中，早期通知設定部在收納于盒的所有的被加工物的加工結束之前，例如在盒內的被加工物的剩余數量成為規定數量以下時、或在特定的被加工物從盒中被取出之后，根據所加工的被加工物在本加工裝置內的位置，使通知設備通知規定的信號。即，在本加工裝置中，在對于所有的被加工物的加工結束前，例如能夠向作業者通知對于所有的被加工物的加工即將結束。

因此，在本加工裝置中，作業者能夠根據通知設備所通知的信號而順利地進行作業，例如能夠準備對下一個要加工的被加工物進行收納的新的盒。由此，作業者能夠縮短本加工裝置的待機時間。

附圖說明

圖1是示出磨削裝置的結構的立體圖。

圖2是第1盒的主視圖。