[發(fā)明專利]光學麥克風

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010097109.7
• 申請日: 2020-02-17
• 公開（公告）號: CN111263283A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設計）人: 雅尼克·凱夫蘭
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司
• 主分類號: H04R23/00
• 分類號: H04R23/00;H04R19/04
• 代理公司: 北京匯思誠業(yè)知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 馮偉

1.一種光學麥克風，其特征在于，包括：

殼體(1)，所述殼體(1)具有內腔以及將所述內腔與外界導通的進聲口(11)；

光電模塊(2)，設置于所述內腔，包括光線發(fā)生器模塊(21)和光線檢測器模塊(22)；

微機電模塊(3)，設置于所述內腔并蓋合所述進聲口(11)，包括光柵(32)和柔性膜(312)；

集成電路模塊(4)，設置于所述內腔并與所述光電模塊(2)和所述微機電模塊(3)電連接；

其中，所述柔性膜(312)和所述光柵(32)沿聲波的入射方向(X)間隔且所述柔性膜(312)靠近所述進聲口(11)，且所述柔性膜(312)和所述光柵(32)朝向所述光電模塊(2)的一側分別設置有反射層；

所述進聲口(11)開設于所述殼體(1)的第一殼壁(12)；

所述光電模塊(2)設置于所述殼體(1)的第二殼壁(13)，所述第一殼壁(12)與所述第二殼壁(13)相對；

所述光線發(fā)生器模塊(21)發(fā)出的光線一部分經所述光柵(32)衍射后照射于所述柔性膜(312)并經所述柔性膜(312)反射回所述光線檢測器模塊(22)，一部分經所述光柵(32)的反射層反射回所述光線檢測器模塊(22)。

2.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述微機電模塊(3)還包括間隔設置于所述光柵(32)的朝向所述光電模塊(2)一側的透鏡(34)；

當所述光線發(fā)生器模塊(21)發(fā)出的光線垂直照射于所述透鏡(34)，經所述透鏡(34)折射后傾斜照射于所述光柵(32)；

當所述光柵(32)或所述柔性膜(312)反射的光線傾斜照射于所述透鏡(34)，經所述透鏡(34)折射后垂直照射于所述光線檢測器模塊(22)。

3.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述微機電模塊(3)還包括支撐所述柔性膜(312)且與所述第一殼壁(12)固定的支撐臂(313)，所述光柵(32)通過支撐件(33)間隔設置于所述柔性膜(312)遠離所述進聲口(11)的一側，所述柔性膜(312)將所述內腔沿聲波的入射方向(X)分隔形成前腔和后腔。

4.根據權利要求3所述的光學麥克風，其特征在于，所述柔性膜(312)還設置有將所述前腔和所述后腔導通的進聲孔(311)。

5.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述光柵(32)包括若干平行間隔設置的狹縫。

6.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述光柵(32)由鏡片制成，且所述鏡片上至少設有一層衍射面(321)。

7.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述集成電路模塊(4)設置于所述第二殼壁(13)。

8.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述光線發(fā)生器模塊(21)和所述光線檢測器模塊(22)設置于不同的管芯。

9.根據權利要求8所述的光學麥克風，其特征在于，所述光線檢測器模塊(22)包括多個光線檢測器。

10.根據權利要求1所述的光學麥克風，其特征在于，所述光線發(fā)生器模塊(21)和所述光線檢測器模塊(22)設置于同一個管芯。