[發明專利]一種新型高過載差壓傳感器

在審

• 申請號: 202010094383.9
• 申請日: 2020-02-15
• 公開（公告）號: CN111157171A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 盛雪梅
• 申請（專利權）人: 盛雪梅
• 主分類號: G01L13/02
• 分類號: G01L13/02;G01L19/06
• 代理公司: 北京豐浩知識產權代理事務所(普通合伙) 11781
• 代理人: 李學康

1.一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：包括芯片基座(1)、單晶硅差壓芯片(2)、金絲(3)、正壓端充油管(4)、負壓端充油管(5)、正壓基座(6)、正壓隔離膜片(7)、負壓基座(8)、負壓隔離膜片(9)、中心過載膜片(10)、引腳(11)、氟膠圈(12)；芯片基座(1)安裝在正壓基座(6)頂部中心位置的凹槽內，芯片基座(1)是燒結而成的，內部粘有單晶硅差壓芯片(2)，單晶硅差壓芯片(2)通過金絲(3)與芯片基座(1)上的引腳(11)連接，從而實現芯片基座(1)的通電、通訊；正壓基座(6)上氬弧焊接正壓隔離膜片(7)，負壓基座(8)上氬弧焊接負壓隔離膜片(9)，芯片基座(1)上燒結兩個充油管，分為正壓端充油管(4)和負壓端充油管(5)；正壓基座(6)和負壓基座(8)內部開有油路，中心過載膜片(10)安裝在負壓基座(8)與正壓基座(6)之間，負壓基座(8)與正壓基座(6)通過同心擠壓，將中心過載膜片(10)與正壓基座(6)、負壓基座(8)形成硬密封，將正壓基座(6)和負壓基座(8)內的油路分為正壓油路和負壓油路，正壓油路和負壓油路的容積相等；通過正壓端充油管(4)將正壓油路腔充硅油，通過負壓端充油管(5)將負壓油路腔充硅油，充油完成后，通過氬弧焊接將正壓端充油管(4)和負壓端充油管(5)堵死密封。

2.根據權利要求1所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述芯片基座(1)上套有氟膠圈(12)，安裝在正壓基座(6)頂部中心位置的凹槽內部，芯片基座(1)和正壓基座(6)在外部連接處氬弧焊接，保證密封性。

3.根據權利要求2所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述正壓基座(6)內部開有水平的油路A，正壓隔離膜片(7)與油路A接觸；負壓基座(8)內部開有與油路A相對應的水平的油路D，負壓隔離膜片(9)與油路D接觸。

4.根據權利要求3所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述中心過載膜片(10)的兩側分別為正壓基座(6)的油路J和負壓基座(8)的油路E。

5.根據權利要求1所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述正壓基座(6)、負壓基座(8)在外部連接處氬弧焊接，保證密封性。

6.根據權利要求4所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述芯片基座(1)底部開有油路C，油路C通過正壓基座(6)內部的油路B與油路A連通，芯片基座(1)內部開有油路H，單晶硅差壓芯片(2)將油路C和油路H分隔開，油路C側為正壓油路，油路H側為負壓油路；芯片基座(1)、正壓基座(6)、負壓基座(8)內部共同形成油路G，油路G與油路H連通；負壓基座(8)內開斜孔，形成油路F，油路F一端與油路G連通，一端與油路E連通。

7.根據權利要求6所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述正壓端充油管(4)的油路通過芯片基座(1)和正壓基座(6)底部縫隙與油路C連通，負壓端充油管(5)的油路與油路G連通。

8.根據權利要求4所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：所述中心過載膜片(10)通過熱處理調整力學性能。

9.根據權利要求1-8任意一項所述的一種新型高過載差壓傳感器，其特征在于：當額定壓力施加在正壓隔離膜片(7)上，壓力推動硅油通過油路A、油路B、油路C,作用在單晶硅差壓芯片(2)正壓端，芯片產生正壓信號；當額定壓力施加在負壓隔離膜片(9)上，壓力推動硅油通過油路D、油路E、油路F、油路G、油路H,作用在單晶硅差壓芯片(2)負壓端，芯片產生負壓信號；芯片基座(1)上套有氟膠圈(12)，把正壓油路和負壓油路在芯片基座(1)上下隔開。