[發明專利]一種掩膜板及制作方法、顯示面板及顯示裝置有效
| 申請號: | 202010092628.4 | 申請日: | 2020-02-14 |
| 公開(公告)號: | CN111273515B | 公開(公告)日: | 2023-10-20 |
| 發明(設計)人: | 潘晟愷;熊騰青;喬永康 | 申請(專利權)人: | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/68 | 分類號: | G03F1/68;G09F9/30 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 姚楠 |
| 地址: | 230012 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 掩膜板 制作方法 顯示 面板 顯示裝置 | ||
本發明提供了一種掩膜板及制作方法、顯示面板及顯示裝置,其中,所述掩膜板包括:所述掩膜板包括第一完全遮擋區域,包圍所述第一完全遮擋區域的部分遮擋區域,以及包圍所述部分遮擋區域的第二完全遮擋區域,所述第一完全遮擋區域設置有第一遮擋結構,所述部分遮擋區域設置有部分遮擋結構,所述第二完全遮擋區域設置有第二遮擋結構,其中,所述部分遮擋結構由網格狀鏤空結構形成。通過該掩膜板能夠實現對非規則顯示屏的制作。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,特別涉及一種掩膜板及制作方法、顯示面板及顯示裝置。
背景技術
隨著顯示技術的發展,為了適應各種各樣的需求,隨之產生了異形顯示屏,即非規則圖形的顯示屏,比如,劉海屏,水滴屏。而異形顯示屏的邊界對加工工藝和加工設備都提出了更高的要求。
目前在加工的過程中還存在一系列的問題,例如,掩膜圖形設計復雜導致加工難度大的問題,掩膜板中張網環節由于異形的存在導致局部受力不均勻,從而造成良率較低的問題,所制作的顯示面板的異形區域出現混色、亮度不均勻的光學問題等等。
因此,如何通過掩膜板實現對非規則顯示屏的制作成為亟待解決的技術問題。
發明內容
本發明提供了一種掩膜板及制作方法、顯示面板及顯示裝置,通過該掩膜板能夠實現對非規則顯示屏的制作。
第一方面,本發明實施例提供了一種掩膜板,包括:
所述掩膜板包括第一完全遮擋區域,包圍所述第一完全遮擋區域的部分遮擋區域,以及包圍所述部分遮擋區域的第二完全遮擋區域,所述第一完全遮擋區域設置有第一遮擋結構,所述部分遮擋區域設置有部分遮擋結構,所述第二完全遮擋區域設置有第二遮擋結構,其中,所述部分遮擋結構由網格狀鏤空結構形成。
在一種可能的實現方式中,所述第一遮擋結構、所述部分遮擋結構和所述第二遮擋結構為一體成型的結構。
在一種可能的實現方式中,所述掩膜板包括由整張金屬篩網形成的本體結構,所述第一遮擋結構包括設置在所述本體結構上且位于所述第一完全遮擋區域的第一遮擋部,所述第二遮擋結構包括設置在所述本體結構上且位于所述第二完遮擋區域的第二遮擋部。
在一種可能的實現方式中,所述部分遮擋結構的截面形狀包括圓形、水滴形、三角形、四邊形、六邊形、字母形中的一種。
在一種可能的實現方式中,所述部分遮擋結構包括多個網格,每個所述網格的截面形狀包括圓形、橢圓形、三角形、四邊形、六邊形中的至少一種。
第二方面,本發明實施例提供了一種如上面所述的掩膜板的制作方法,包括:
通過張網機將整張金屬薄片焊接在用于制作所述掩膜板的框架上;
對所述整張金屬薄片的部分遮擋區域進行鏤空處理,形成包括網格狀鏤空結構的部分遮擋結構,其中,所述整張金屬薄片除所述部分遮擋區域外的區域為第一完全遮擋區域和第二完全遮擋區域,所述第一完全遮擋區域設置有第一遮擋結構,所述第二完全遮擋區域設置有第二遮擋結構,所述部分遮擋區域包圍所述第一完全遮擋區域,所述第二完全遮擋區域包圍所述部分遮擋區域。
在一種可能的實現方式中,所述對所述整張金屬薄片的部分遮擋區域進行鏤空處理,形成包括網格狀鏤空結構的部分遮擋結構,包括:
確定所述部分遮擋結構的鏤空部相對所述部分遮擋結構的占空比;
根據所述占空比,通過激光設備對所述整張金屬薄片的所述部分遮擋區域進行鏤空處理,形成包括所述網格狀鏤空結構的所述部分遮擋結構。
在一種可能的實現方式中,在所述通過張網機將整張金屬薄片焊接在用于制作所述掩膜板的框架上之后,所述方法還包括:
通過激光設備對所述整張金屬薄片進行鏤空處理,形成整張金屬篩網;
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G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
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