[發明專利]振動測量裝置

在審

• 申請號: 202010092551.0
• 申請日: 2020-02-14
• 公開（公告）號: CN111366231A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 伍康;郭梅影;要佳敏;王力軍
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 魏朋

1.一種振動測量裝置，其特征在于，包括：

基座架(100)，包圍形成容納空間(110)；

感應件(170)，所述感應件(170)的一端活動設置于所述基座架(100)，用于固定設置敏感件(180)；

位移參照裝置(190)，設置于所述容納空間(110)，相對于所述基座架(100)固定設置；

檢測電路(196)，用于根據所述感應件(170)相對于所述位移參照裝置(190)的位移輸出位移信號；

反饋控制電路(198)，用于根據所述位移信號輸出反饋信號；以及

第一驅動裝置(220)，位于所述容納空間(110)，并設置于所述感應件(170)和所述基座架(100)之間，用于根據所述反饋信號驅動所述感應件(170)運動使所述感應件(170相對于所述位移參照裝置(190)的位移為零或趨近于零。

2.如權利要求1所述的振動測量裝置，其特征在于，所述位移參照裝置(190)包括第一定極板(192)和第二定極板(194)，所述第一定極板(192)和所述第二定極板(194)平行固定設置，所述感應件(170)設置于所述第一定極板(192)和第二定極板(194)之間；

當所述感應件(170)在所述第一定極板(192)和所述第二定極板(194)之間發生位移使所述第一定極板(192)和所述感應件(170)形成的第一電容以及所述第二定極板(194)和所述感應件(170)形成的第二電容的差值發生變化時，所述檢測電路(196)輸出所述位移信號，所述反饋控制電路(198)根據所述位移信號輸出所述反饋信號，所述第一驅動裝置(220)根據所述反饋信號驅動所述敏感件(180)運動以使所述第一電容和所述第二電容的差值為零或者趨近于零。

3.如權利要求2所述的振動測量裝置，其特征在于，所述第一驅動裝置(220)包括音圈電機，所述音圈電機包括磁鐵結構(214)和線圈結構(216)，所述磁鐵結構(214)相對于所述基座架(100)固定設置，所述線圈結構(216)相對于所述感應件(170)固定設置。

4.如權利要求2所述的振動測量裝置，其特征在于，所述第一驅動裝置(220)包括壓電驅動器(230)，所述壓電驅動器(230)包括外殼(232)以及設置于所述外殼(232)內的輸出軸(234)，所述外殼(232)相對于所說基座架(100)固定設置，所述輸出軸(234)相對于所述感應件(170)固定設置。

5.如權利要求1所述的振動測量裝置，其特征在于，所述基座架(100)包括第一支撐柱(130)，設置于所述容納空間(110)內，所述感應件(170)的一端活動設置于所述第一支撐柱(130)。

6.如權利要求5所述的振動測量裝置，其特征在于，還包括第一彈性件(150)，所述第一彈性件(150)的一端設置于所述第一支撐柱(130)，所述第一彈性件(150)的另一端固定于所述感應件(170)，在靜態時，所述第一彈性件(150)用于使所述感應件(170)保持在相對所述位移參照裝置(190)位移為零時的初始位置。

7.如權利要求5所述的振動測量裝置，其特征在于，還包括第二驅動裝置(240)，所述第二驅動裝置(240)設置于所述感應件(170)和所述基座架(100)之間，所述第二驅動裝置(240)設置于所述第一驅動裝置(220)遠離所述第一支撐柱(130)的一端，在靜態時，所述第二驅動裝置(240)用于使所述感應件(170)保持在相對所述位移參照裝置(190)位移為零時的初始位置。

8.如權利要求5所述的振動測量裝置，其特征在于，還包括：

第二支撐柱(140)，設置于所述容納空間(110)內，并與所述第一支撐柱(130)間隔設置；

第二彈性件(160)，所述第二彈性件(160)的一端與所述第一支撐柱(130)的一端連接，所述第二彈性件(160)的另一端固定于所述感應件(170)，在靜態時，所述第二彈性件(160)用于使所述感應件(170)保持在相對所述位移參照裝置(190)位移為零時的初始位置。