[發明專利]一種基于微波的等離子炬

在審

• 申請號: 202010092129.5
• 申請日: 2020-02-14
• 公開（公告）號: CN111111391A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 陳勇
• 申請（專利權）人: 成都悅坤科技有限公司
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 韓雪

1.一種基于微波的等離子炬，其特征在于：包括屏蔽外殼(1)和輸入管；所述輸入管貫穿屏蔽外殼(1)；所述輸入管包括位于屏蔽外殼(1)上方的進管部、位于屏蔽外殼(1)內部的可透微波管部和位于屏蔽外殼(1)下方的出管部；所述屏蔽外殼(1)上設有饋口；所述饋口用于向可透微波管部輸入微波；所述進管部上設有至少一個的工作進氣管(2)；所述工作進氣管(2)用于輸入工作氣體；所述出管部用于輸出火焰。

2.根據權利要求1所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述進管部包括金屬進管(3)；所述金屬進管(3)固定在屏蔽外殼(1)頂部；所述金屬進管(3)側表面設有至少一個的工作進氣管(2)。

3.根據權利要求2所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述出管部包括金屬出管(4)；所述金屬出管(4)固定在屏蔽外殼(1)底部。

4.根據權利要求3所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述可透微波管部包括石英管(5)；所述石英管(5)銜接金屬進管(3)和金屬出管(4)，使輸入管內的氣體無法進入屏蔽外殼(1)。

5.根據權利要求1至4任一權利要求所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述工作進氣管(2)在輸入管內輸入的工作氣體運動形式為螺旋前進式。

6.根據權利要求1至4任一權利要求所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：還包括打火器(6)；所述打火器(6)用于在輸入管內產生尖端放電。

7.根據權利要求1至4任一權利要求所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：還包括壓縮波導(7)和微波源(8)；所述微波源(8)通過壓縮波導(7)連接在饋口上。

8.根據權利要求1至4任一權利要求所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述微波從饋口輸入經過可透微波管部中心后至屏蔽外殼(1)內壁反射，該屏蔽外殼(1)內壁至可透微波管部中心的距離為(0.5*n+0.25)倍波長，n為非負整數。

9.根據權利要求1至4任一權利要求所述的一種基于微波的等離子炬，其特征在于：所述工作進氣管(2)有兩個，并均勻環繞在進管部上。