[發明專利]磁傳感器系統

有效

• 申請號: 202010090667.0
• 申請日: 2020-02-13
• 公開（公告）號: CN111562525B
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 猿木俊司;望月慎一郎
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01R33/00
• 分類號: G01R33/00;G01R33/09
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本發明提供一種磁傳感器系統，其包含檢測外部磁場的兩個方向的成分的兩個磁傳感器、附加磁場產生部、信號處理電路。附加磁場產生部能夠產生用于兩個磁傳感器的靈敏度測量的兩個附加磁場。信號處理電路包含靈敏度測量處理部和檢測信號修正處理部。靈敏度測量處理部基于控制附加磁場產生部而產生了兩個附加磁場時的關于兩個磁傳感器的檢測信號的變化的數據測量靈敏度。檢測信號修正處理部對于兩個磁傳感器的檢測信號，進行降低兩個附加磁場引起的變化成分的處理。

技術領域

本發明涉及包含磁傳感器和處理磁傳感器的檢測信號的信號處理電路的磁傳感器系統。

背景技術

近年來，在各種用途中利用檢測外部磁場的一個方向的成分的磁傳感器。作為磁傳感器，已知有使用了設置于基板上的至少一個磁檢測元件的磁傳感器。作為磁檢測元件，例如使用磁阻效應元件。

檢測外部磁場的一個方向的成分的磁傳感器生成與外部磁場的一方向的成分對應的檢測信號。以下，將上述一個方向稱為磁感應方向。上述磁傳感器優選具有檢測信號根據期望方向的磁場強度的變化而變化，但檢測信號不會根據期望的方向以外的方向的磁場強度的變化而變化的特性。以下，將上述期望的方向稱為主軸方向。上述磁感應方向優選與主軸方向一致。

以下，上述磁傳感器中，將檢測信號的變化相對于主軸方向的磁場的強度的變化的比率稱為主軸靈敏度。主軸靈敏度可根據磁傳感器的個體差而不同。另外，包含檢測外部磁場的多個方向的成分的多個磁傳感器的裝置中，有時多個磁傳感器的主軸靈敏度相互不同。另外，有時主軸靈敏度根據磁傳感器的使用環境而變化。因此，包含磁傳感器的裝置中，期望根據需要來測量磁傳感器的主軸靈敏度，并基于該測量結果能夠修正磁傳感器的檢測信號。

中國專利申請公開第101641609A號說明書中記載有一種磁傳感器，其具有多個磁感應部相互分開地設置的半導體襯底和設置于半導體襯底上的磁性體，多個磁感應部設置于磁性體的端部區域。該磁傳感器基于多個磁感應部的輸出，檢測關于相互正交的2軸或3軸的磁場強度。該磁傳感器中，各磁感應部的磁感應方向為垂直方向。該磁傳感器具有用于靈敏度測量的水平磁場產生用線圈和用于靈敏度測量的多個垂直磁場產生用線圈。水平磁場產生用線圈產生水平磁場成分。通過該水平磁場成分，在磁性體的端部附近產生垂直磁場成分，多個磁感應部通過檢測該垂直磁場成分來檢測水平磁場成分。多個垂直磁場產生用線圈設置于多個磁感應部的附近，并產生垂直磁場成分。多個磁感應部分別檢測由多個垂直磁場產生用線圈產生的垂直磁場成分。根據該磁傳感器，能夠測量與2軸或3軸相關的主軸靈敏度。

中國專利申請公開第101641609A號說明書所記載的磁傳感器中，存在測量主軸靈敏度時需要中斷磁傳感器的通常的動作的問題點。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種磁傳感器系統，不需要中斷磁傳感器的通常的動作，就能夠測量磁傳感器的靈敏度。

本發明提供一種磁傳感器系統，其包括：生成與外部磁場的規定方向的成分具有對應關系的檢測信號的至少一個磁傳感器；能夠產生用于測量至少一個磁傳感器的靈敏度的至少一個附加磁場的附加磁場產生部；用于控制附加磁場產生部并且處理至少一個磁傳感器的檢測信號的信號處理電路。

信號處理電路進行靈敏度測量處理和檢測信號修正處理。靈敏度測量處理獲取控制附加磁場產生部而產生了至少一個附加磁場時的關于至少一個磁傳感器的檢測信號的變化的至少一個數據，并基于所獲取的至少一個數據測量至少一個磁傳感器的靈敏度。檢測信號修正處理對于至少一個磁傳感器的檢測信號進行降低至少一個附加磁場引起的變化成分的處理。

本發明的磁傳感器系統中，檢測信號修正處理也可以進行從至少一個磁傳感器的檢測信號減去至少一個附加磁場所引起的變化成分的推算值的處理。

另外，本發明的磁傳感器系統中，至少一個附加磁場也可以為至少一個交流磁場。在該情況下，至少一個磁傳感器的檢測信號包含至少一個附加磁場引起的交流的變化成分。檢測信號修正處理也可以對至少一個磁傳感器的檢測信號進行降低變化成分的濾波處理。