[發(fā)明專利]真空設(shè)備用小車送料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010090654.3
• 申請日: 2020-02-13
• 公開（公告）號: CN111321386B
• 公開（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡方勤;宋振綸;鄭必長;楊麗景;張青科;趙國田;曠鑫文;張?zhí)?/a>
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所;包頭希迪瑞科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33250
• 代理人: 李麗華

1.一種真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，包括支架、樣品臺、承載板及傳動機(jī)構(gòu)；所述樣品臺可滑動地設(shè)置在所述支架上；所述承載板固定在所述樣品臺的下方，與所述樣品臺相配合，以承載樣品；所述傳動機(jī)構(gòu)用于帶動所述樣品臺相對于所述承載板進(jìn)行移動，使得所述樣品在所述承載板的摩擦力帶動下能夠沿所述樣品臺的移動方向進(jìn)行自轉(zhuǎn),以使樣品上與承載板相接觸的表面能夠被鍍膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述樣品臺包括框架及多列相互平行的金屬絲；所述金屬絲的末端分別固定在所述固定框上，從而形成多個沿樣品臺的移動方向進(jìn)行延伸的固定槽；所述樣品可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述固定槽與所述承載板共同形成的容置空間內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述多列金屬絲之間還形成多個間隔槽，每相鄰兩個容置槽之間具有至少一個所述間隔槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述支架上開設(shè)有導(dǎo)向槽；所述樣品臺的底部還設(shè)置有導(dǎo)向件；所述導(dǎo)向件與所述導(dǎo)向槽相配合，用于引導(dǎo)所述樣品臺沿所述導(dǎo)向槽進(jìn)行移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向件為滾輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述傳動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動件、動密封件、聯(lián)軸器及鏈輪組件；所述動密封件的一端通過所述聯(lián)軸器與所述驅(qū)動件連接，另一端與所述鏈輪組件固定連接；所述樣品臺的外側(cè)設(shè)置有推動桿，所述推動桿與所述鏈輪組件固定，使得所述驅(qū)動件能夠帶動所述樣品進(jìn)行移動。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述鏈輪組件包括鏈輪、鏈條、從動軸及連桿；所述鏈輪與所述動密封件同軸設(shè)置；所述鏈條的一端套設(shè)在所述鏈輪上且與所述鏈輪相耦合，另一端套設(shè)在所述從動軸上，使得所述鏈輪轉(zhuǎn)動時能帶動所述鏈條進(jìn)行移動；所述連桿的一端固定在所述鏈條上，另一端與所述推動桿固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述支架的底部設(shè)置有車輪，以利于所述支架的移動。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述車輪與所述支架的連接部設(shè)置有絕緣墊。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空設(shè)備用小車送料裝置，其特征在于，所述真空設(shè)備用小車送料裝置還包括導(dǎo)軌，其固定在真空設(shè)備的底部，用于引導(dǎo)所述車輪的移動方向。