[發(fā)明專利]電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010089659.4
• 申請(qǐng)日: 2020-02-12
• 公開（公告）號(hào): CN111151861A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋壽祺;李曌;張彤;王斌;王紅;李震;杜帥祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桂林電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): B23K15/00
• 分類號(hào): B23K15/00;B23K15/06
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 45107
• 代理人: 陳躍琳

1.電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置，其特征是，包括設(shè)置在電子束增材制造設(shè)備的真空室內(nèi)的接收組件和設(shè)置在電子束增材制造設(shè)備的真空室外的信號(hào)處理系統(tǒng)；

接收組件由2個(gè)支架即給料支架(1)和收料支架(2)、2個(gè)水平滾軸即給料水平軸(3)和收料水平軸(4)、2個(gè)卷筒即給料卷筒(5)和收料卷筒(6)、金屬膜(7)、卷料電機(jī)(8)和束流接收金屬板(9)組成；給料支架(1)和收料支架(2)相對(duì)設(shè)置，且兩者之間存在一定距離；給料卷筒(5)和給料水平軸(3)安裝在給料支架(1)上，且給料水平軸(3)位于給料卷筒(5)的正上方；收料卷筒(6)和收料水平軸(4)安裝在收料支架(2)上，且收料水平軸(4)位于電機(jī)的正上方；給料卷筒(5)、收料卷筒(6)、給料水平軸(3)和收料水平軸(4)這四者的中軸線相互平行；給料水平軸(3)和收料水平軸(4)的中軸線處于同一水平高度上；金屬膜(7)的一端固定在給料卷筒(5)上，金屬膜(7)的另一端依次經(jīng)由給料水平軸(3)和收料水平軸(4)固定在收料卷筒(6)上；給料水平軸(3)和收料水平軸(4)之間的金屬膜(7)即工作段銅模保持水平狀態(tài)，且工作段金屬膜(7)的上表面與電子束增材制造設(shè)備工作平臺(tái)的工作平面重合；工作段金屬膜(7)的覆蓋區(qū)域?yàn)殡娮邮霾闹圃煸O(shè)備的電子束掃描工作區(qū)；卷料電機(jī)(8)的輸出軸與收料卷筒(6)相連，當(dāng)卷料電機(jī)(8)帶動(dòng)收料卷筒(6)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，卷纏在給料卷筒(5)上的銅模經(jīng)過給料水平軸(3)和收料水平軸(4)后，卷纏在收料卷筒(6)上；束流接收金屬板(9)由可導(dǎo)電的金屬構(gòu)成，并放置在工作段金屬膜(7)的正下方；束流接收金屬板(9)與電子束增材制造設(shè)備的真空室的內(nèi)壁電氣隔離；束流接收金屬板(9)通過導(dǎo)線與信號(hào)處理系統(tǒng)連接，當(dāng)電子束增材制造設(shè)備發(fā)出的電子束擊穿工作段金屬膜(7)后照射到束流接收金屬板(9)，照射到束流接收金屬板(9)上的電子形成電流信號(hào)導(dǎo)入至信號(hào)處理系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置，其特征是，束流接收金屬板(9)的底部設(shè)有絕緣墊片(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置，其特征是，給料水平軸(3)和收料水平軸(4)的形狀和尺寸完全相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置，其特征是，給料卷筒(5)和收料卷筒(6)的中軸線處于同一水平高度上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束增材制造設(shè)備聚焦電流特征參數(shù)收集裝置，其特征是，金屬膜(7)的整體厚度一致。