[發(fā)明專利]汽車照明光源光效提高方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010088173.9 | 申請(qǐng)日： | 2020-01-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111276585B | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孫蕾蕾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳創(chuàng)客車品科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L33/22 | 分類號(hào)： | H01L33/22;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 曹勇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 汽車 照明 光源 提高 方法 | ||
1.一種汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，包括提供一基板，在所述基板上形成半結(jié)晶性層，在所述半結(jié)晶性層上形成未摻雜層，在所述未摻雜層上形成N型摻雜層，在所述N型摻雜層上形成硅薄層，在所述硅薄層上形成有源層，在所述有源層上形成P型摻雜層；形成所述硅薄層依次包括第一階段、第二階段、第三階段，所述第一階段、第二階段、第三階段形成的薄層厚度比為(0.1～0.3):1:(0.1～0.5)。
2.如權(quán)利要求1所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述硅薄層厚度為1～20nm。
3.如權(quán)利要求2所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述硅薄層依次包括第一階段、第二階段，所述第一階段過程中通入氮源，所述第二階段過程中不通入氮源。
4.如權(quán)利要求3所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一階段過程中通入氮源流量隨時(shí)間逐漸降低。
5.如權(quán)利要求4所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一階段過程中通入氮源流量隨時(shí)間逐漸降低至零。
6.如權(quán)利要求3所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述硅薄層還包括第三階段，所述第三階段位于所述第二階段之后，第三階段過程中通入碳源。
7.如權(quán)利要求6所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第三階段過程中通入碳源流量隨時(shí)間逐漸升高。
8.如權(quán)利要求7所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第三階段過程中通入碳源流量隨時(shí)間由零逐漸升高。
9.如權(quán)利要求1所述的汽車照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一階段、第二階段、第三階段形成的薄層厚度比為0.2:1:0.3。
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