[發明專利]光調制器件和包括光調制器件的電子裝置

在審

• 申請號: 202010086775.0
• 申請日: 2020-02-11
• 公開（公告）號: CN112415737A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 鄭秉吉;金善日;樸晶鉉;李斗鉉
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳曉兵

提供了一種光調制器件，包括：可變反射鏡，該可變反射鏡包括多個柵格結構，所述多個柵格結構包括折射率基于材料的溫度而變化的材料；分布式布拉格反射鏡，該分布式布拉格反射鏡與可變反射鏡間隔開且設置在可變反射鏡上方，該分布式布拉格反射鏡包括交替堆疊的第一材料層和第二材料層，并且第一材料層的折射率與第二材料層的折射率不同；以及加熱部，該加熱部被配置為加熱所述多個柵格結構并且與分布式布拉格反射鏡相對地設置在可變反射鏡下方。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2019年8月20日在韓國知識產權局提交的韓國專利申請第10-2019-0101869號的優先權，該申請的公開內容通過引用全部并入本文中。

技術領域

本公開的示例實施例涉及光調制器件和包括光調制器件的電子裝置。

背景技術

最近，光檢測及測距(LiDAR)系統已經在諸如智能汽車、機器人等自動駕駛設備領域中被用作用于檢測障礙物的傳感器或掃描器。

LiDAR系統通常可包括用于向目標點輻射激光的光束轉向裝置。光束轉向裝置可以包括多個通道，其分別將入射光的相位調制為期望的形狀。由于通過這些通道中的每個通道的光的干涉，由多個通道形成的相位分布可以被設置為，使得入射光可以以恒定的角度轉向且被發射。

對于如上所述的相位調制，每個通道可以包括具有根據所施加信號變化的光學特性的材料，并且需要能夠快速準確地調整轉向角的通道結構。

發明內容

一個或多個示例實施例提供能夠以各種形式調制入射光的光調制器件。

一個或多個示例實施例還提供使用光調制器件陣列的光束轉向器件。

其他方面部分地將在以下描述中進行闡述，且部分地將通過以下描述而變得清楚，或者可以通過本公開的示例實施例的實踐來獲知。

根據示例實施例的一個方面，提供了一種光調制器件，該光調制器件包括：可變反射鏡，該可變反射鏡包括多個柵格結構，所述多個柵格結構包括折射率基于材料的溫度而變化的材料；分布式布拉格反射鏡，該分布式布拉格反射鏡與可變反射鏡間隔開且設置在可變反射鏡上方，該分布式布拉格反射鏡包括交替堆疊的第一材料層和第二材料層，并且第一材料層的折射率與第二材料層的折射率不同；以及加熱部，該加熱部被配置為加熱所述多個柵格結構，并且與分布式布拉格反射鏡相對地設置在可變反射鏡下方。

該光調制器件還可以包括：間隔層，該間隔層設置在可變反射鏡與分布式布拉格反射鏡之間，該間隔層被配置為提供諧振距離。

該間隔層可以包括：折射率小于所述多個柵格結構的折射率的材料。

所述多個柵格結構可以以一定周期設置在與第一材料層和第二材料層被堆疊的方向垂直的方向上。

該加熱部可以包括加熱器，該加熱器被電加熱且被配置為加熱所述多個柵格結構。

該加熱部可以包括：電阻器，該電阻器被配置為加熱所述多個柵格結構；以及電路元件層，該電路元件層被配置為向該電阻器供應電流。

該電阻器可以包括：多個子電阻器，所述多個子電阻器被配置為加熱可變反射鏡的劃分區域。

該光調制器件還可以包括：元光學器件，該元光學器件與可變反射鏡相對地設置在分布式布拉格反射鏡上方，該元光學器件包括多個納米結構。

所述多個納米結構的形狀分布可以被設置為：基于所述多個柵格結構的折射率的變化來增大可變反射鏡與分布式布拉格反射鏡之間的相位調制范圍。

該光調制器件還可以包括：襯底，所述襯底包括通孔和設置在該通孔中的金屬塞，所述襯底被配置為支撐加熱部。

該光調制器件還可以包括：熱沉，該熱沉設置在襯底的與加熱部相對的表面上。