[發明專利]電子器件在審
| 申請號： | 202010086093.X | 申請日： | 2020-02-11 |
| 公開（公告）號： | CN111697066A | 公開（公告）日： | 2020-09-22 |
| 發明（設計）人： | B·帕德瑪納伯翰;P·文卡特拉曼;Z·豪森;唐納德·扎里姆巴;戈登·M·格里芙尼亞;亞歷山大·楊 | 申請（專利權）人： | 半導體元件工業有限責任公司 |
| 主分類號： | H01L29/423 | 分類號： | H01L29/423 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人： | 張瑋;王琳 |
| 地址： | 美國亞*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子器件 | ||
1.一種電子器件，其特征在于，所述電子器件包括：
第一柵電極，所述第一柵電極用于供應柵極電壓；
源極；
漏極；
溝道，所述溝道被摻雜為在向所述第一柵電極施加電壓時，使得電流能夠從所述漏極流向所述源極；和
第一柵極絕緣體，所述第一柵極絕緣體處于所述溝道和所述第一柵電極之間，所述第一柵極絕緣體包括：
第一柵極絕緣體區段，所述第一柵極絕緣體區段具有第一厚度；和
第二柵極絕緣體區段，所述第二柵極絕緣體區段具有不同于所述第一厚度的第二厚度。
2.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于：
所述第一柵極絕緣體區段具有第一長度，
所述第二柵極絕緣體區段具有第二長度，并且
所述第一長度長于所述第二長度。
3.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于：
所述第一柵極絕緣體區段具有第一長度，
所述第二柵極絕緣體區段具有第二長度，并且
所述第一長度短于所述第二長度。
4.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于，所述電子器件包括垂直結構，其中，所述漏極、所述溝道和所述源極使得所述電流能夠垂直地通過所述溝道流動。
5.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于，所述電子器件包括橫向結構，其中，所述漏極、所述溝道和所述源極使得所述電流能夠橫向地通過所述溝道流動。
6.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于，所述電子器件包括屏蔽電極。
7.根據權利要求1所述的器件，其特征在于，所述電子器件包括處于所述溝道的與所述第一柵電極相反的一側上的第二柵電極。
8.根據權利要求7所述的電子器件，其特征在于，所述第一柵電極包括具有第一厚度的第一柵極絕緣體，所述第二柵電極包括具有第二厚度的第二柵極絕緣體，并且在于，所述第一厚度不同于所述第二厚度。
9.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于，所述第一柵極絕緣體區段包括第一摻雜水平，并且在于，所述第二柵極絕緣體區段包括不同于所述第一摻雜水平的第二摻雜水平。
10.根據權利要求1所述的電子器件，其特征在于，所述第一柵極絕緣體包括具有第三厚度的第三柵極絕緣體區段，其中，所述第三厚度小于所述第二厚度，或大于所述第一厚度。
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