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[發(fā)明專利]一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路布置方法以及氣路裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202010085998.5 申請日: 2020-02-11
公開(公告)號: CN111139456A 公開(公告)日: 2020-05-12
發(fā)明(設計)人: 王鑫;曹明剛;安德吉;張磊;焦新宇;金作林 申請(專利權(quán))人: 滄州天瑞星光熱技術有限公司
主分類號: C23C16/455 分類號: C23C16/455;C23C14/22
代理公司: 北京邦創(chuàng)至誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11717 代理人: 張宇鋒
地址: 061000 河北省滄州*** 國省代碼: 河北;13
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 提高 真空鍍膜 氣氛 均勻 輝光 區(qū)氣路 布置 方法 以及 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路布置方法,其特征在于:根據(jù)鍍膜真空腔體結(jié)構(gòu)和輝光區(qū)的長度,將輝光區(qū)等分為1-20段子供氣區(qū)域,對每個子供氣區(qū)域分別進行獨立的供氣,將輝光區(qū)兩端延伸出200-500mm的區(qū)域作為輔供氣區(qū)域,對每個輔供氣區(qū)域也分別進行獨立的供氣,每個子供氣區(qū)域與每個輔供氣區(qū)域均設置有一個用于供氣的氣路裝置,氣路裝置通過質(zhì)量流量計定量控制流量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路布置方法,其特征在于:所述氣路裝置包括一個主進氣管、至少一個次級分管和一個出氣管,次級分管將主進氣管中氣體1-10級對稱等分后與出氣管連接,所述出氣管平行于輝光區(qū),出氣管兩端密閉,出氣管在平行于輝光區(qū)方向上均勻分布等徑的出氣孔,所有氣路裝置上的出氣管同軸布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路布置方法,其特征在于:所述出氣管上出氣孔朝同一方向,出氣孔的孔徑為0.1-5mm,出氣孔的間距≥出氣孔的孔徑,出氣管上每個次級分管給其左右各1-5個出氣孔供氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路布置方法,其特征在于:所述出氣管上的出氣孔朝向真空腔壁或者朝向靶材輝光區(qū)。

5.一種提高真空鍍膜氣氛均勻性的輝光區(qū)氣路裝置,其特征在于:所述氣路裝置包括一個進氣管、至少一個次級分管和一個出氣管,所述出氣管為獨立的、平行于輝光區(qū)的、兩端密閉的管狀結(jié)構(gòu),出氣管由一個質(zhì)量流量計控制氣體流量;氣體通過質(zhì)量流量計后,經(jīng)1-10級對稱等分,各級間距為0.1-100mm,通過至少一個次級分管后,最終從出氣管上均勻分布的出氣孔排出進入真空腔體;每個次級分管給其左右各1-5個出氣孔供氣;所述出氣孔朝同一方向,其朝向真空腔壁或者朝向靶材輝光區(qū),出氣孔的孔徑相等,為0.1-5mm。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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