[發明專利]一種213nm紫外光的輸出方法及系統

有效

• 申請號: 202010084386.4
• 申請日: 2020-02-10
• 公開（公告）號: CN113258427B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 王家贊;江銳;儲玉喜;張旭東;范元媛;沙鵬飛
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/11
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.一種213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，包括：

當激光器為1064nm皮秒激光器或1064nm納秒激光器時，所述213nm紫外光的輸出方法包括步驟：

控制激光器產生1064nm基頻光激光脈沖， 1064nm激光脈沖經倍頻晶體后產生532nm倍頻光；

所述532nm倍頻光經第一雙色鏡后反射到第一反射鏡，并經所述第一反射鏡反射到四倍頻晶體，以產生266nm激光脈沖；

剩余的1064nm基頻光經第一雙色鏡透射后入射到第二雙色鏡；

所述266nm激光脈沖經第三雙色鏡后和所述剩余的1064nm基頻光同時達到所述第二雙色鏡；

經所述第二雙色鏡后的266nm激光脈沖和剩余的1064nm基頻光照射到五倍頻晶體，以產生213nm紫外光；

所述四倍頻晶體為CLBO四倍頻晶體，所述五倍頻晶體為CLBO五倍頻晶體。

2.根據權利要求1所述的213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，所述輸出方法還包括：

當所述激光器為1064nm皮秒激光器時，在所述剩余的1064nm基頻光的光路上設置延遲線，剩余的1064nm基頻光經第一雙色鏡后經所述延遲線后入射到第二雙色鏡。

3.根據權利要求1或2所述的213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，在所述產生213nm紫外光之后，還包括：

通過一分光鏡對從所述五倍頻晶體出射的266nm激光脈沖和剩余的1064nm基頻光以及產生213nm紫外光進行分光。

4.根據權利要求1或2所述的213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，所述倍頻晶為LBO倍頻晶體。

5.根據權利要求1所述的213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，

所述第二雙色鏡用于對1064nm基頻光進行透射，對266nm光進行反射。

6.根據權利要求1所述的213nm紫外光的輸出方法，其特征在于，所述第三雙色鏡用于對經所述CLBO四倍頻晶體的532倍頻光進行透射，對266nm光進行反射。

7.一種213nm紫外光的輸出系統，其特征在于，所述輸出系統運行所述權利要求1-6任一項所述的輸出方法，以產生213nm紫外光。