[發明專利]過濾器潤濕方法和處理液供給裝置

有效

• 申請號: 202010084368.6
• 申請日: 2020-02-10
• 公開（公告）號: CN111589218B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 志手英男;安達健二;今村真人;兼竹望;田尻卓也
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D19/00;B01D61/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

本發明提供一種過濾器的潤濕方法，該過濾器設置于處理液供給裝置中，用于去除處理液中的雜質，處理液供給裝置包括：暫時貯存處理液的暫時貯存部；和將處理液送出到處理液釋放部的泵，暫時貯存部由撓性部件分隔為貯存處理液的貯存室和位于貯存室外側的工作流體室，根據工作流體室內的壓力變化來調節貯存室內的壓力，從而對貯存室補充處理液或者從該貯存室壓送出處理液，該潤濕方法包括：脫氣步驟，在將暫時貯存部與過濾器之間的管路關閉了的狀態下，使暫時貯存部的貯存室內成為負壓，對該貯存室內的處理液進行脫氣；和使脫氣后的處理液即脫氣液通過過濾器中的過液步驟。由此，能夠在過濾器潤濕時防止溶存于處理液的氣泡在過濾器內發泡。

技術領域

本發明涉及過濾器潤濕方法和處理液供給裝置。

背景技術

專利文獻1中，公開了一種在安裝新的過濾器部時，使抗蝕液通過，以去除過濾器部內的氣體的方法(過濾器潤濕)。專利文獻1的過濾器潤濕方法包括：對過濾器部內導入抗蝕液以將過濾器內的過濾部件浸漬在抗蝕劑中的浸漬處理；和使過濾器部內成為負壓氣氛進行脫氣的脫氣處理等。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-78562號公報。

發明內容

發明要解決的技術問題

本發明所涉及的技術，在使過濾器潤濕時，防止溶存于處理液中的氣泡在過濾器內發泡。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一方式是一種過濾器的潤濕方法，其中所述過濾器設置于處理液供給裝置中，用于去除處理液中的雜質，所述處理液供給裝置對用于向被處理體釋放處理液的處理液釋放部供給處理液，所述處理液供給裝置包括：暫時貯存處理液的暫時貯存部；和將通過了所述過濾器的處理液送出到所述處理液釋放部的泵，所述暫時貯存部由撓性部件分隔為貯存處理液的貯存室和設置于所述貯存室的外側的工作流體室，根據所述工作流體室內的壓力變化來調節所述貯存室內的壓力，從而對該貯存室補充所述處理液，或者從該貯存室壓送出處理液，該潤濕方法包括：脫氣步驟，在將所述暫時貯存部與所述過濾器之間的管路關閉了的狀態下，使所述暫時貯存部的所述貯存室內成為負壓，對該貯存室內的處理液進行脫氣；和使脫氣后的處理液即脫氣液通過所述過濾器中的過液步驟。

發明效果

依照本發明，能夠在過濾器潤濕時，防止溶存于處理液的氣泡在過濾器內發泡。

附圖說明

圖1是表示第1實施方式的作為處理液供給裝置的抗蝕液供給裝置的概略結構的說明圖。

圖2是說明緩沖罐的示意外觀圖。

圖3是緩沖罐的結構的說明圖。

圖4是表示過濾器的概略結構的縱截面圖。

圖5是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了從泵內進行排出的排出步驟的狀態的說明圖。

圖6是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了對緩沖罐的補充步驟的狀態的說明圖。

圖7是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了緩沖罐內的抗蝕液的脫氣步驟的狀態的說明圖。

圖8是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了緩沖罐內的預先加壓步驟的狀態的說明圖。

圖9是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了緩沖罐內的除泡步驟的狀態的說明圖。

圖10是表示用于說明抗蝕液供給裝置的概略結構的配管系統，實施了從緩沖罐進行壓送的壓送步驟的狀態的說明圖。