[發明專利]一種213nm激光器

有效

• 申請號: 202010084352.5
• 申請日: 2020-02-10
• 公開（公告）號: CN113258426B
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 王家贊;江銳;儲玉喜;張旭東;沙鵬飛;范元媛
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/00
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.一種213nm激光器，其特征在于，包括1064nm激光器、二倍頻晶體、四倍頻晶體以及五倍頻晶體；所述四倍頻晶體為CLBO四倍頻晶體，所述五倍頻晶體為CLBO五倍頻晶體；

所述1064nm激光器、二倍頻晶體、四倍頻晶體以及五倍頻晶體依次連接；

所述1064nm激光器用于產生1064nm激光脈沖；

所述二倍頻晶體接收1064nm激光器發出的1064nm激光脈沖，用于將部分1064nm激光轉換為532nm倍頻光；

所述四倍頻晶體將532nm倍頻光轉換為266nm激光脈沖；

所述五倍頻晶體將剩余的1064nm激光、266nm激光脈沖轉換為213nm激光；

當所述1064nm激光器為皮秒激光器或納秒激光器時用于產生1064nm激光脈沖，所述213nm激光器還包括：

第一雙色鏡、第二雙色鏡、反射鏡以及第三雙色鏡；

所述第一雙色鏡和反射鏡設置于所述二倍頻晶體以及四倍頻晶體之間，并依次連接；

所述第三雙色鏡和所述第二雙色鏡設置于所述四倍頻晶體和五倍頻晶體之間，并依次連接；

所述剩余的1064nm納秒激光入射至所述五倍頻晶體之前，依次入射所述第一雙色鏡和第二雙色鏡；

所述532nm倍頻光經所述第一雙色鏡入射至反射鏡，并經所述反射鏡后入射至四倍頻晶體產生266nm激光脈沖；

所述266nm激光脈沖經第三雙色鏡后入射至所述第二雙色鏡，并經所述第二雙色鏡后入射至所述五倍頻晶體。

2.如權利要求1所述的213nm激光器，其特征在于：

當所述1064nm激光器為皮秒激光器時用于產生1064nm激光脈沖，所述213nm激光器還包括：

延遲線；

所述延遲線設置于第一雙色鏡與第二雙色鏡之間；

所述剩余的1064nm皮秒激光入射至所述第二雙色鏡之前，入射至所述延遲線；

通過調節所述延遲線使得1064nm皮秒激光與266nm激光脈沖同時入射到五倍頻晶體表面。

3.根據權利要求1-2任意一項所述的213nm激光器，其特征在于，還包括分光鏡，所述分光鏡設置于五倍頻晶體后方。

4.根據權利要求1或2所述的213nm激光器，其特征在于，所述第一雙色鏡對1064nm激光透射，對532nm倍頻光反射。

5.根據權利要求1或2所述的213nm激光器，其特征在于，所述第二雙色鏡對1064nm激光透射，對266nm激光脈沖反射。

6.根據權利要求1或2所述的213nm激光器，其特征在于，所述第三雙色鏡對532nm激光透射，對266nm激光反射。

7.根據權利要求1-2任一所述的213nm激光器，其特征在于，所述二倍頻晶體為LBO倍頻晶體。