[發明專利]一種離子交換玻璃基表面波導模斑轉換器的制作方法

在審

• 申請號: 202010083822.6
• 申請日: 2020-02-08
• 公開（公告）號: CN111158084A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 郝寅雷;鄧鑫宸;牛夢華;蔣建光;車錄鋒;周柯江
• 申請（專利權）人: 浙江大學深圳研究院
• 主分類號: G02B6/134
• 分類號: G02B6/134;G02B6/14;G02B6/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子交換玻璃基表面波導模斑轉換器的制作方法，這種方法包括兩個環節：第一個環節用離子交換法在玻璃基片(1)的表面制作條形離子摻雜區(4)；第二個環節是將玻璃基片(1)豎直放置在水平熱板(5)上進行梯度溫度離子擴散。這種方法的特征在于：將表面制作有條形離子摻雜區(4)的玻璃基片(1)豎直放置在水平熱板(5)上進行梯度溫度離子擴散，利用玻璃基片(1)內沿條形離子摻雜區(4)長度方向的溫度梯度，使玻璃基片(1)中沿條形離子摻雜區(4)長度方向產生摻雜離子擴散速率的梯度，增大玻璃基片(1)表面的條形離子摻雜區(4)在貼近熱板(5)一端的橫截面尺寸，將條形離子摻雜區(4)變成錐形離子摻雜區(6)。

2.根據權利要求1所述的一種離子交換玻璃基表面波導模斑轉換器的制作方法，其特征在于：所述的玻璃基片(1)材料為硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃或硼酸鹽玻璃。

3.根據權利要求1所述的一種離子交換玻璃基表面波導模斑轉換器的制作方法，其特征在于：所述的條形離子摻雜區(4)中的摻雜離子為K⁺，Ag⁺，Cu⁺，Cs⁺，Tl⁺，Li⁺。

4.根據權利要求1所述的一種離子交換玻璃基表面波導模斑轉換器的制作方法，其特征在于：所述的熱板(5)為水平放置的表面平整的金屬板。