[發(fā)明專利]光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010081892.8
• 申請(qǐng)日: 2020-02-06
• 公開（公告）號(hào): CN111548002B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小島大輝;松永祐一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B37/018
• 分類號(hào): C03B37/018
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，是使從燃燒器噴出玻璃原料氣體及燃燒用氣體所形成的火焰中產(chǎn)生的玻璃微粒子堆積在旋轉(zhuǎn)的起始材料上而制造光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的方法，其特征在于：

在結(jié)束玻璃微粒子的堆積后緊隨的至少預(yù)定的時(shí)間，從所述燃燒器持續(xù)噴出惰性氣體；

將所述玻璃原料氣體經(jīng)由質(zhì)量流量控制器供給至所述燃燒器，在結(jié)束玻璃微粒子的堆積后緊隨的至少預(yù)定的時(shí)間，向所述質(zhì)量流量控制器持續(xù)流入該流量范圍的10％以下的惰性氣體；

從所述質(zhì)量流量控制器的下游導(dǎo)入追加的惰性氣體，控制所述燃燒器的出口處的惰性氣體的線速度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中在結(jié)束玻璃微粒子的堆積后至開始下一次堆積期間，從所述燃燒器持續(xù)噴出惰性氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中從所述燃燒器噴出的惰性氣體的線速度Ns為0.5m/s＜Ns＜25m/s，所述線速度Ns是在距所述燃燒器的開口端面向前方10mm的位置測(cè)量的值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中從所述燃燒器噴出的惰性氣體的線速度Ns為1.0m/s≦Ns≦15m/s，所述線速度Ns是在距所述燃燒器的開口端面向前方10mm的位置測(cè)量的值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中所述玻璃原料為SiCl₄或GeCl₄。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中所述燃燒器是多噴嘴燃燒器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中所述惰性氣體是氦氣、氬氣及氮?dú)庵械闹辽偃我环N。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光纖用多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其中所述惰性氣體預(yù)熱成比玻璃原料氣體的沸點(diǎn)高的溫度后被導(dǎo)入。