[發明專利]半導體晶圓離子注入掃描機器人

有效

• 申請號: 202010081540.2
• 申請日: 2020-02-06
• 公開（公告）號: CN111755307B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 金昌永;崔永;張日煥;孫容宣;諸健鎬;崔文壽
• 申請（專利權）人: 耐貝爾株式會社
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 李蘭;孫志湧

1.一種半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

包括：

L1軸，垂直地結合在第一連桿的一側，憑借第一驅動單元的驅動驅使所述第一連桿旋轉；

L2軸，在所述第一連桿的上部疊上其長度和所述第一連桿相同的第二連桿，垂直地結合在所述第一連桿的另一側及疊在其上的所述第二連桿的一側并且憑借第二驅動單元的驅動驅使所述第二連桿旋轉；

R軸，在所述第二連桿的另一側上部疊上支持掃描頭的支撐架，垂直地結合在所述第二連桿的另一側與所述支撐架的中央并且憑借第三驅動單元的驅動驅使所述支撐架旋轉；及

Y軸，水平地結合在所述支撐架并支持所述掃描頭的兩側，憑借第四驅動單元的驅動驅使所述掃描頭旋轉，

其中，驅使所述L1軸旋轉調整傾角，在所述調整的傾角下將所述第一驅動單元與第二驅動單元的驅動同步化而以所述L1軸為基準讓所述第一連桿往左、右旋轉，以所述L2軸為基準讓所述第二連桿往左、右旋轉，從而使得所述掃描頭往左、右水平移動。

2.根據權利要求1所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述第一驅動單元設于第一連桿的下部以便讓所述L1軸垂直地結合在所述第一連桿，所述第二驅動單元設于所述第一連桿的另一側內部以便讓所述L2軸垂直地結合在所述第二連桿，所述第三驅動單元設于所述第二連桿的另一側內部以便讓所述R軸垂直地結合在所述支撐架的中央，所述第四驅動單元設于所述支撐架的一側以便讓所述Y軸水平地結合在所述支撐架的上端。

3.根據權利要求1所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述第一驅動單元和第二驅動單元同步驅動，所述第一連桿以所述L1軸為基準往左、右旋轉，所述第二連桿以所述L2軸為基準往左、右旋轉，從而使得所述掃描頭往左、右水平移動。

4.根據權利要求3所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述第三驅動單元和所述第一驅動單元同步驅動，所述R軸以和所述L1軸相同的旋轉角驅使所述掃描頭旋轉。

5.根據權利要求1所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述第三驅動單元在所述調整的傾角下和所述第一驅動單元同步驅動，所述R軸以和所述L1軸相同的旋轉角驅使所述掃描頭旋轉。

6.根據權利要求1所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述Y軸驅使所述掃描頭的晶圓旋轉到晶圓裝載或卸載位置或者驅使所述掃描頭的晶圓旋轉到離子注入位置或束輪廓分析位置。

7.根據權利要求1所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述掃描頭包括固定晶圓的晶圓固定座、驅使所述晶圓固定座旋轉的S軸、驅動所述S軸的第五驅動單元。

8.根據權利要求7所述的半導體晶圓離子注入掃描機器人，其特征在于，

所述S軸垂直于所述Y軸，驅使置放所述晶圓的晶圓固定座旋轉而調整晶圓的扭轉角或方位角。