[發明專利]加工裝置

在審

• 申請號: 202010081388.8
• 申請日: 2020-02-06
• 公開（公告）號: CN111564386A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 大久保廣成
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G06F3/0482;G06F3/0484;G06F3/0488
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種加工裝置，其具有：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

加工單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工；

觸摸面板，其顯示將被加工物的加工條件輸入的輸入畫面；以及

控制單元，其對各結構要素進行控制，

其中，

該控制單元具有：

畫面登記部，其登記多個該輸入畫面；以及

蒙版設定部，其按照每個該輸入畫面而設定蒙版，該蒙版覆蓋該輸入畫面的所指定的區域從而限制對該輸入畫面的該區域的操作，

在利用該蒙版設定部顯示的該蒙版上顯示：

備忘錄信息，其由操作者在該蒙版上輸入；以及

刪除部，其具有將該備忘錄信息從該蒙版刪除或將該蒙版從該輸入畫面刪除的功能。

2.根據權利要求1所述的加工裝置，其中，

該刪除部是刪除按鈕或密碼輸入部，該密碼輸入部輸入用于將該備忘錄信息或該蒙版刪除的密碼。

3.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其中，

該加工裝置設定成在一個該輸入畫面上能夠顯示多個該蒙版，并且設定成通過對顯示在第1蒙版的該刪除部的操作而能夠刪除第2蒙版。