[發(fā)明專利]精密機床在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010077035.0 | 申請日： | 2020-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN111482845A | 公開（公告）日： | 2020-08-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 有松洋平 | 申請（專利權(quán)）人： | 發(fā)那科株式會社 |
| 主分類號： | B23Q17/00 | 分類號： | B23Q17/00;B23Q17/24 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 范勝杰;曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 精密 機床 | ||
1.一種精密機床，使用工具按照10nm以下的加工指令對加工對象物進行精密加工，其特征在于，
該精密機床具備：
支承所述工具的工具支承部；
能夠移動所述工具支承部的移動機構(gòu)；以及
一個或多個攝像裝置，其固定于所述工具支承部或所述移動機構(gòu)，具有拍攝所述加工對象物相對于所述工具的加工點的攝像部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密機床，其特征在于，
所述攝像裝置中的至少一個攝像裝置中，將從所述攝像部的預(yù)定部位到所述加工點的距離設(shè)為Dmm，將所述攝像部的視野角設(shè)為θdeg，將由所述攝像部拍攝到的圖像的長邊設(shè)為1時的短邊的比率設(shè)為x，將所述長邊的點數(shù)設(shè)為Rsa，此時下式的關(guān)系成立：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密機床，其特征在于，
所述圖像的長邊與短邊之比為16：9。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的精密機床，其特征在于，
所述攝像部具有對所述加工點照射光的照射部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的精密機床，其特征在于，
所述攝像裝置中的至少一個攝像裝置形成為具有柔性的棒狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的精密機床，其特征在于，
所述攝像裝置中的至少一個攝像裝置具有調(diào)整所述攝像部的朝向的調(diào)整機構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密機床，其特征在于，
該精密機床具備：
驅(qū)動所述調(diào)整機構(gòu)的驅(qū)動部；以及
控制所述驅(qū)動部的驅(qū)動控制部，
所述驅(qū)動控制部根據(jù)所述工具的種類、大小或長度來控制所述驅(qū)動部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的精密機床，其特征在于，
在由加工程序的所述加工指令指定的所述加工點發(fā)生變化的情況下，所述驅(qū)動控制部控制所述驅(qū)動部，以使所述攝像部追隨所述加工點。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的精密機床，其特征在于，
該精密機床具備：顯示部，其顯示由至少一個所述攝像裝置的所述攝像部拍攝到的所述圖像與放大了在所述圖像中指定的一部分區(qū)域的放大區(qū)域圖像中的至少一方。
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