[發明專利]一種工藝腔室

有效

• 申請號: 202010075561.3
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111364021B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 袁福順;吳軍;馬志芳;王磊磊;李曉軍
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

1.一種用于外延工藝的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室包括腔室頂蓋、腔室底壁、環形側壁、以及用于承載基片的承載臺，所述環形側壁和所述承載臺均位于所述腔室頂蓋與所述腔室底壁之間，所述環形側壁朝向所述腔室頂蓋的一側具有導氣平面，所述環形側壁的導氣平面與所述腔室頂蓋之間具有換氣間隙，所述環形側壁的導氣平面上具有成對設置的引導件，且每一個所述引導件都具有導向平面，同一對所述引導件的導向平面相對設置，以在所述承載臺的承載面與所述腔室頂蓋之間形成導向通道，所述導向通道用于使工藝氣體的氣流方向與所述導向通道兩側的所述導向平面之間相互平行；所述導向通道的兩端分別通過所述換氣間隙與所述工藝腔室的外部連通。

2.根據權利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括導氣件和多個進氣管，其中，

所述導氣件包括多個氣體出口、多個進氣口和多個勻流腔，所述進氣口用于與工藝氣體的氣源連通，每個所述勻流腔與至少一個所述進氣口連通，且每個所述勻流腔與多個所述氣體出口連通；

多個所述進氣管的一端與多個所述氣體出口一一對應地連通，多個所述進氣管的另一端均通過所述換氣間隙與所述導向通道連通，以將所述導氣件中的氣體傳輸至所述導向通道中。

3.根據權利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括多個工藝針，所述導氣件上的氣體出口通過所述導氣件中的工藝孔與所述勻流腔連通，多個所述工藝針一一對應地設置在所述工藝孔中，且所述工藝針能夠在所述工藝孔中移動。

4.根據權利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述導氣件中還形成有至少一個邊緣氣體通道，所述邊緣氣體通道的兩端在所述導氣件上分別形成為邊緣出氣口和邊緣進氣口，所述邊緣出氣口與所述進氣管連通，以將所述邊緣進氣口導入的氣體通過所述進氣管傳輸至所述導向通道中。

5.根據權利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括排氣座塊和多個出氣管，所述排氣座塊包括排氣腔；

多個所述出氣管的一端均與所述排氣座塊的排氣腔連通，另一端均與所述導向通道的一端連通，以將所述導向通道中的氣體導入所述排氣腔中；所述排氣腔上形成有排氣開口，用于排出所述排氣腔中的氣體。

6.根據權利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，多個所述出氣管并排設置，在多個所述出氣管中，位于中間的出氣管朝向所述導向通道一側的管口沿高度方向的尺寸大于位于兩側的出氣管朝向所述導向通道一側的管口沿高度方向的尺寸。

7.根據權利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，多個所述出氣管包括中央出氣管和位于所述中央出氣管兩側的邊緣出氣管，所述中央出氣管沿一個所述引導件指向另一所述引導件的方向的寬度大于或等于基片的直徑。

8.根據權利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括勻流板，所述勻流板設置在所述排氣座塊與所述出氣管的連接位置，所述勻流板上形成有多個勻流孔，所述勻流孔沿所述勻流板的厚度方向貫穿所述勻流板，所述排氣座塊的排氣腔通過所述勻流孔與多個所述出氣管連通。

9.根據權利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，所述排氣腔上形成有多個所述排氣開口，所述排氣座塊還包括多個排氣通道，多個所述排氣通道的一端與多個所述排氣開口一一對應地連通，另一端用于排出所述排氣腔中的氣體。

10.根據權利要求1至9中任意一項所述的工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室還包括支撐組件，所述支撐組件設置在所述承載臺與所述腔室底壁之間，且與所述承載臺連接，用于帶動所述承載臺繞所述承載臺的軸線轉動，所述環形側壁環繞在所述支撐組件四周。