[發明專利]一種制氟用碳陽極板有效
| 申請號： | 202010075403.8 | 申請日： | 2020-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN111172555B | 公開（公告）日： | 2022-11-08 |
| 發明（設計）人： | 劉坤;杭頌 | 申請（專利權）人： | 核工業第八研究所 |
| 主分類號： | C25B1/245 | 分類號： | C25B1/245;C25B11/04;C23C16/30 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人： | 劉燕武 |
| 地址： | 201800 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制氟用碳 陽極板 | ||
【權利要求書】：
1.一種制氟用碳陽極板，其特征在于，由碳板、以及沉積在碳板表面的碳/碳化硅摻雜涂層組成；
所述的碳/碳化硅摻雜涂層中，碳化硅質量含量不超過90％；
所述的碳/碳化硅摻雜涂層的厚度不超過10μm；
所述的碳/碳化硅摻雜涂層通過以下方法沉積得到：
將碳板置于氣相沉積爐內，通以由CH4、SiCl4、H2和N2組成的混合氣體，高溫沉積，即完成；
混合氣體中，CH4、SiCl4、H2和N2的體積含量分別為30％、5％、5％和60％；
混合氣體通入氣相沉積爐的流速為200L/h；
高溫沉積的工藝條件為：維持爐內氣壓為10KPa，在1200℃下沉積30小時。
2.根據權利要求1所述的一種制氟用碳陽極板，其特征在于，所述的碳板在沉積前，先進行表面拋光、超聲波清洗和烘干。
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