[發(fā)明專利]一種集成芯片及其制作方法和集成電路

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010075240.3
• 申請(qǐng)日: 2020-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN113161348B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊永輝;樊曉兵;許明偉;曾學(xué)忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市匯芯通信技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/06
• 分類號(hào): H01L27/06;H01L23/64;H01L29/778;H01L21/335;H01L21/8252
• 代理公司: 深圳市博衍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44415
• 代理人: 曾新浩

1.一種集成芯片，其特征在于，所述集成芯片包括相鄰且連接設(shè)置的晶體管區(qū)和LC濾波器區(qū)，所述晶體管區(qū)設(shè)置有砷化鎵高電子遷移率晶體管，所述砷化鎵高電子遷移率晶體管包括：

襯底；

外延層，設(shè)置在所述襯底的上表面，采用砷化鎵系材料制成；

第一鈍化層，設(shè)置在所述外延層上；

柵極、源極和漏極，設(shè)置在所述外延層的上方；

第二鈍化層，設(shè)置在所述柵極、源極和漏極的上方；

第一金屬層，設(shè)置在所述第二鈍化層的上方，與所述源極和漏極相連；

第二金屬層，與所述第一金屬層連接，且設(shè)置在所述第一金屬層的上方；

所述LC濾波器區(qū)包括電感區(qū)和電容區(qū)，所述電感區(qū)中設(shè)置有電感，所述電容區(qū)中設(shè)置有電容，所述電感和電容電連接，所述電感包括：

第一鈍化層，設(shè)置在所述外延層上；

第二鈍化層，設(shè)置在所述第一鈍化層上；

電感繞線，設(shè)置在所述第二鈍化層的上方；以及

電感端口，設(shè)置在所述電感繞線的上方，與所述電感繞線的端部連接；

所述電容包括：

第一鈍化層，設(shè)置在所述外延層上；

第二鈍化層，設(shè)置在所述第一鈍化層上；

下電極，設(shè)置在所述第二鈍化層的上方；

電容介質(zhì)，設(shè)置在所述下電極上；以及

上電極，設(shè)置在所述電容介質(zhì)的上方；

其中，所述電感繞線、所述下電極與所述第一金屬層采用同一制程形成；所述電感端口、所述第二金屬層和上電極通過同一道制程形成；

所述第二金屬層與所述電感端口通過空氣橋耦合，所述電感端口與所述上電極通過空氣橋耦合。

2.如權(quán)利要求1所述的一種集成芯片，其特征在于，所述晶體管區(qū)和LC濾波器區(qū)包括：金屬間電介質(zhì)，設(shè)置在所述第二鈍化層上；

在所述砷化鎵高電子遷移率晶體管中：

所述源極、漏極和柵極，貫穿所述第一鈍化層，與所述外延層連接；

所述第一金屬層，設(shè)置在所述源極和漏極的上方，貫穿所述第二鈍化層，且分別與所述源極和漏極連接；以及

所述第二金屬層，設(shè)置在所述金屬間電介質(zhì)的上方，貫穿所述金屬間電介質(zhì)，且分別與所述第一金屬層連接；

在所述電感中：

所述電感端口，設(shè)置在所述金屬間電介質(zhì)的上方，包括電感輸入電極和電感輸出電極，所述電感輸入電極與所述電感繞線的一端連接，所述電感輸出電極與所述電感繞線的另一端連接；

在所述電容中：

所述電容介質(zhì)，設(shè)置在所述下電極和金屬間電介質(zhì)之間；以及

所述上電極，設(shè)置在所述金屬間電介質(zhì)的上方，包括電容輸入電極和電容輸出電極，所述電容輸入電極貫穿所述金屬間電介質(zhì)和電容介質(zhì)，與所述下電極連接；所述電容輸出電極貫穿所述金屬間電介質(zhì)，與所述電容介質(zhì)連接；

其中，所述電感輸入電極與所述漏極上方的第二金屬層通過空氣橋連接，所述電感輸出電極與所述電容輸入電極通過空氣橋連接。

3.如權(quán)利要求2所述的一種集成芯片，其特征在于，包括：

背孔，貫穿所述襯底和外延層；以及

背面金屬層，設(shè)置在所述襯底的下表面，通過所述背孔與所述源極連接。

4.如權(quán)利要求2所述的一種集成芯片，其特征在于，所述集成芯片還包括與所述電容區(qū)或電感區(qū)相鄰設(shè)置的電阻區(qū)，所述電阻區(qū)內(nèi)設(shè)有電阻，所述電阻包括：

電阻薄膜，設(shè)置在所述第二鈍化層上；

電阻輸入電極，設(shè)置在所述金屬間電介質(zhì)上，與所述電阻薄膜連接；以及

電阻輸出電極，設(shè)置在所述金屬間電介質(zhì)上，與所述電阻薄膜連接；

其中，所述電阻與所述電容或電感通過空氣橋相連。