[發明專利]對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法

有效

• 申請號: 202010074773.X
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111467874B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 細江達也;稻川紫生;本田拓也;加地惠
• 申請（專利權）人: 倉敷纖維加工株式會社;倉敷紡績株式會社
• 主分類號: B01D37/00
• 分類號: B01D37/00;B01D27/07;C07C67/56;C07C69/68
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 陳建全

本發明提供能夠抑制羧酸衍生物的水解的對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法，其為使用過濾用基材對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法，其中，所述過濾用基材(1)是由化學鍵合有陽離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材(3)與化學鍵合有強陰離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材(4)交替配置而成，使所述藥液通過所述過濾用基材(1)。

技術領域

本發明涉及對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法。

背景技術

近年來，隨著電子工業界的半導體制造技術的進步，集成電路的配線間隔的設計尺寸變得小至十余nm。隨著集成電路的微細化，有工作速度提高或耗電降低有所進展的傾向。在集成電路的制造過程中，藥液中所含的金屬雜質由于會引起配線短路或電流值下降、成為合格率下降的原因，因此有必要對藥液進行高純度化。作為除去這種金屬雜質的手段，使用了蒸餾或離子交換樹脂，但是就蒸餾來說具有成本高的問題，就離子交換樹脂來說具有處理速度慢、因溶出物而造成污染的問題。一直以來，已知有用于將溶液中的金屬吸附除去的深度型筒式過濾器。專利文獻1～3中提出了將作為陽離子交換基團接枝了磺酸基等強酸性陽離子基的聚烯烴無紡布、作為陰離子交換基團接枝了季銨基等的聚烯烴無紡布分別使用作為過濾布。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-071004號公報

專利文獻2：日本特開2009-090259號公報

專利文獻3：日本特開平4-284853號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

但是，本申請的發明者發現以往的過濾器會發生在除去金屬離子時使羧酸衍生物水解的問題。

本發明為了解決本發明人們發現的問題，提供能夠抑制羧酸衍生物的水解的對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法。

用于解決技術問題的手段

本發明的對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法的特征在于，其是使用過濾用基材對含有羧酸衍生物的藥液進行過濾的方法，所述過濾用基材是由化學鍵合有陽離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材與化學鍵合有強陰離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材交替配置而成，使所述藥液通過所述過濾用基材。

發明效果

根據本發明，通過使用由化學鍵合有陽離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材與化學鍵合有強陰離子交換基團的聚烯烴構件所構成的基材交替配置而成的過濾用基材，使所述藥液通過所述過濾用基材，可以抑制羧酸衍生物的水解。

附圖說明

圖1為本發明的一個實施方式的深度型筒式過濾器內的濾筒(filter cartridge)的示意性的局部剖開圖。

圖2為本發明的一個實施方式的組裝有深度型筒式過濾器的處理裝置的示意說明圖。

圖3為本發明的一個實施方式的通液試驗裝置的示意說明圖。

圖4為實施例1的通液試驗裝置的示意說明圖。

圖5為比較例1的通液試驗裝置的示意說明圖。

圖6為比較例2的通液試驗裝置的示意說明圖。

圖7為表示本發明的實施例及比較例的通液試驗結果的曲線。

符號說明

1，10 深度型筒式過濾器

2 中空狀內筒(開有孔的中空管)

3，17a......17j 鍵合有陽離子交換基團的無紡布層