[發(fā)明專利]光學(xué)測定系統(tǒng)和光學(xué)測定方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010074101.9 | 申請日： | 2020-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN111486794A | 公開（公告）日： | 2020-08-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 岡本宗大;稻野大輔;森本晃一;田口都一;龜本智彥 | 申請（專利權(quán)）人： | 大塚電子株式會社 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/25;G01N21/45;G01N21/47;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光學(xué) 測定 系統(tǒng) 方法 | ||
本發(fā)明提供一種光學(xué)測定系統(tǒng)和光學(xué)測定方法，提供一種針對在以往的光學(xué)測定裝置中測定精度可能降低的樣品也能夠更高精度地測定光學(xué)特性的結(jié)構(gòu)。光學(xué)測定系統(tǒng)包括：光源，其發(fā)出用于向樣品照射的測定光；分光檢測器，其接收由測定光在樣品處產(chǎn)生的反射光或透射光；以及處理裝置，其被輸入分光檢測器的檢測結(jié)果。處理裝置構(gòu)成為能夠執(zhí)行以下處理：基于分光檢測器的檢測結(jié)果，來計(jì)算第一光譜；在第一光譜中確定與波長有關(guān)的振幅的變化滿足規(guī)定條件的區(qū)間；以及使用從第一光譜去除所確定的區(qū)間的信息所得到的第二光譜，來計(jì)算樣品的光學(xué)特性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種能夠測定樣品的膜厚等光學(xué)特性的光學(xué)測定系統(tǒng)和光學(xué)測定方法。
背景技術(shù)
一直以來，已知如下一種技術(shù)：通過觀測由于光干涉而出現(xiàn)的光，來測定樣品的膜厚等光學(xué)特性。例如，日本特開2009-092454號公報(bào)公開了能夠更高精度地測定具有波長取決性的多層膜試樣的膜厚的多層膜分析裝置等。另外，日本特開2018-205132號公報(bào)公開了能夠更高速且更高精度地測定樣品的膜厚的面內(nèi)分布的光學(xué)測定裝置等。
在使用上述這種光學(xué)測定裝置來測定出液晶材料、聚合物材料(例如，PET薄膜等)等樣品的膜厚的情況下，存在由于這些材料所具有的各向異性而導(dǎo)致測定精度降低這樣的問題。另外，在對構(gòu)造上具有多個(gè)厚度的樣品進(jìn)行了測定的情況下，也存在測定精度降低這樣的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供如下結(jié)構(gòu)：針對在以往的光學(xué)測定裝置中測定精度可能降低的樣品，也能夠更高精度地測定光學(xué)特性。
本發(fā)明的某一方面的的光學(xué)測定系統(tǒng)包括：光源，其產(chǎn)生用于向樣品照射的測定光；分光檢測器，其接收由測定光在樣品處產(chǎn)生的反射光或透射光；以及處理裝置，其被輸入分光檢測器的檢測結(jié)果。處理裝置構(gòu)成為能夠執(zhí)行以下處理：基于分光檢測器的檢測結(jié)果，來計(jì)算第一光譜；在第一光譜中確定與波長有關(guān)的振幅的變化滿足規(guī)定條件的區(qū)間；以及使用從第一光譜去除所確定的區(qū)間的信息所得到的第二光譜，來計(jì)算樣品的光學(xué)特性。
也可以是，進(jìn)行確定的處理包括以下處理：針對第一光譜，依次設(shè)定具有預(yù)先決定的波長幅度的評價(jià)窗；以及基于各評價(jià)窗中包含的第一光譜的振幅的變化，來判斷與各評價(jià)窗對應(yīng)的區(qū)間是否滿足規(guī)定條件。
也可以是，判斷與各評價(jià)窗對應(yīng)的區(qū)間是否滿足規(guī)定條件的處理包括以下處理：計(jì)算第一光譜的與各評價(jià)窗對應(yīng)的區(qū)間內(nèi)的振幅的偏差的程度。
也可以是，在第一光譜的與各評價(jià)窗對應(yīng)的區(qū)間內(nèi)的振幅的偏差程度低于規(guī)定閾值的情況下，判斷為與該評價(jià)窗對應(yīng)的區(qū)間滿足規(guī)定條件。
也可以是，評價(jià)窗的波長幅度是按樣品的種類預(yù)先決定的。
也可以是，計(jì)算樣品的光學(xué)特性的處理包括以下處理：基于對第二光譜進(jìn)行傅里葉變換所得到的結(jié)果中出現(xiàn)的峰值來計(jì)算膜厚。
也可以是，計(jì)算第一光譜的處理包括以下處理：基于分光檢測器的檢測結(jié)果計(jì)算樣品的反射率光譜，來作為第一光譜。
也可以是，計(jì)算第一光譜的處理包括以下處理：計(jì)算從基于分光檢測器的檢測結(jié)果計(jì)算出的樣品的反射率光譜去除源自樣品中包含的除測定對象以外的層的信息所得到的反射率光譜，來作為第一光譜。
也可以是，計(jì)算第一光譜的處理還包括以下處理：對樣品的反射率光譜進(jìn)行傅里葉變換，來計(jì)算第三光譜；確定第三光譜中的源自樣品中包含的除測定對象以外的層的峰值；以及從第三光譜中去除所確定的該峰值及該峰值附近的信息，來計(jì)算第四光譜。
也可以是，計(jì)算第一光譜的處理還包括以下處理：對第四光譜進(jìn)行逆傅里葉變換，來計(jì)算第一光譜。
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