[發明專利]一種壓電微泵及氣體控制裝置

在審

• 申請號: 202010073930.5
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111140478A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 常州威圖流體科技有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;F04B39/00;F04B39/10;F04B49/22
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 常瑩瑩

1.一種壓電微泵，其特征在于，包括：

共振件(1)，所述共振件(1)由外到內依次為板件部(11)、連接部(12)和共振部(13)，所述共振件(1)的一個面為平面，在所述共振件(1)的另一個面上，所述共振部(13)的中部形成凹陷結構(131)，所述連接部(12)上分布有出氣孔(121)；

壓電振子(2)，所述壓電振子(2)與所述共振件(1)層疊設置，所述壓電振子(2)靠近所述共振件(1)的平面，所述壓電振子(2)上設置有進氣孔，所述進氣孔正對所述共振部(13)的凹陷結構(131)。

2.根據權利要求1所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述連接部(12)相對于相鄰的板件部(11)和共振部(13)呈凹陷狀。

3.根據權利要求1所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述共振部(13)及其上的凹陷結構(131)均為圓形，所述共振部(13)和所述凹陷結構(131)同軸并設置在所述板件部(11)的中部。

4.根據權利要求1所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述進氣孔與所述共振部(13)同軸設置，所述壓電振子(2)的靠近所述共振件(1)的面上圍繞所述進氣孔設置有凹槽(212)。

5.根據權利要求4所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述凹槽(212)為環形，所述凹槽(212)與所述進氣孔同軸設置，所述共振部(13)的外徑小于所述凹槽(212)的外徑且大于所述凹槽(212)的內徑。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述壓電振子(2)包括層疊設置的基板(21)和壓電元件(22)，所述基板(21)位于所述壓電元件(22)和所述共振件(1)之間，所述壓電振子(2)的遠離所述共振板(1)的一端設置有電極組件(3)來為所述壓電元件(22)供電。

7.根據權利要求6所述的一種壓電微泵，其特征在于，所述電極組件(3)的遠離所述壓電振子(2)的一端設置有底板(4)，所述底板(4)上開有進氣通孔(41)，所述底板(4)的內表面形成有延伸至所述進氣通孔(41)的凹部(42)。

8.一種氣體控制裝置，其特征在于，包括：

權利要求1-7任一項所述的壓電微泵；

漏氣閥(6)，所述漏氣閥(6)設置在所述共振件(1)的遠離所述壓電振子(2)的一側，經所述壓電微泵的出氣孔(121)流出的氣體進入到所述漏氣閥(6)中。

9.根據權利要求8所述的一種氣體控制裝置，其特征在于，所述漏氣閥(6)包括閥殼(61)，所述閥殼(61)內設置有隔膜結構(62)，所述隔膜結構(62)將閥殼(61)的內腔分隔為進氣側和出氣側，所述隔膜結構(62)上設有質量塊(621)和氣流通道(623)，位于進氣側的閥殼(61)上開有進氣口(611)，位于出氣側的閥殼(61)上開有儲氣口(613)和出氣口(612)，所述質量塊(621)位于出氣側且對準所述出氣口(612)，還包括控制氣流通道(623)的氣流通斷的單向截止結構，當進氣側的氣壓大于所述出氣側的氣壓時，所述單向截止結構控制所述進氣側氣流經氣流通道流通(623)至出氣側，所述質量塊(621)被推動覆蓋關閉所述出氣口(612)。