[發(fā)明專利]微機(jī)械慣性傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010073760.0
• 申請(qǐng)日: 2020-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN111735986A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·克拉森;L·特布耶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): G01P15/02
• 分類號(hào): G01P15/02;G01P15/097;G01C21/16;B81C1/00;B81B7/02
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.微機(jī)械慣性傳感器(100)，具有：

-襯底；和

-附接到所述襯底上的振動(dòng)質(zhì)量(10)，該振動(dòng)質(zhì)量這樣構(gòu)造，使得所述振動(dòng)質(zhì)量在第一笛卡爾坐標(biāo)方向(z；x)上具有約1g的低g加速度的探測(cè)能力；其中，

-所述振動(dòng)質(zhì)量(10)還構(gòu)造成，使得所述振動(dòng)質(zhì)量在至少一個(gè)第二笛卡爾坐標(biāo)方向(x、y；z)上具有至少約100g的高g加速度的探測(cè)能力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述振動(dòng)質(zhì)量(10)構(gòu)造為z擺桿，該z擺桿借助于彈簧元件(40、41)和附接元件(50)居中地附接到所述襯底上，其中，所述彈簧元件(40、41)的寬度(B)分別在所述彈簧元件(40、41)的長(zhǎng)度(L)的約2％和約5％之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述振動(dòng)質(zhì)量(10)相對(duì)于x電極(11...14)和y電極的間距限定為大于布置在所述襯底上的z電極(30、31)相對(duì)于所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的間距。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機(jī)械z(mì)慣性傳感器(100)，其特征在于，所述x電極(11...14)在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的橫向延展尺度上在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的槽中連續(xù)地構(gòu)造，其中，所述y電極(20...29)與所述x電極(11...14)分開地構(gòu)造在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的槽中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，xy電極(11a...14b)在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的橫向延展尺度上在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)的槽中分別兩件式地構(gòu)造，其中，所述xy電極(11a...14b)能夠交替地交叉電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述振動(dòng)質(zhì)量(10)在橫向總延展尺度上不對(duì)稱地構(gòu)造，其中，在所述振動(dòng)質(zhì)量(10)下方，在相對(duì)于扭轉(zhuǎn)軸而言相對(duì)置的區(qū)域上分別布置一個(gè)z電極(30、31)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述振動(dòng)質(zhì)量(10)在橫向總延展尺度上的不對(duì)稱性的程度優(yōu)選小于約30％，優(yōu)選為約2％至約5％、更優(yōu)選為約10％至約20％、更優(yōu)選為約25％至約30％。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微機(jī)械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述振動(dòng)質(zhì)量(10)在橫向總延展尺度上的不對(duì)稱性的程度取決于沿z方向的探測(cè)能力地構(gòu)造。

9.用于制造微機(jī)械慣性傳感器(100)的方法，具有以下步驟：

-提供襯底；

-提供附接到所述襯底上的振動(dòng)質(zhì)量(10)，該振動(dòng)質(zhì)量構(gòu)造成，使得所述振動(dòng)質(zhì)量在第一笛卡爾坐標(biāo)方向(z；x)上具有約1g的低g加速度的探測(cè)能力；其中，

-所述振動(dòng)質(zhì)量(10)還構(gòu)造成，使得所述振動(dòng)質(zhì)量在至少一個(gè)第二笛卡爾坐標(biāo)方向(x、y；z)上具有至少約100g的高g加速度的探測(cè)能力。