[發明專利]靜電掃描微鏡

在審

• 申請號: 202010073746.0
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN111045206A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 程進;孫其梁;徐乃濤;李宋澤
• 申請（專利權）人: 無錫微視傳感科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 江蘇漫修律師事務所 32291
• 代理人: 平梁良

1.一種靜電掃描微鏡，其特征在于：包括上部的微鏡本體和下方的鍵合底板（13），微鏡本體包括邊框（1）和鏡面（2），邊框（1）背面固定在鍵合底板（13）上；所述鏡面（2）上下兩端分別連接有連接部（4），并通過轉軸（3）與邊框（1）連接；所述連接部（4）的外側加工有動齒，邊框（1）內側與動齒相對的位置上加工有靜齒。

2.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述鍵合底板（13）上制作有金屬平板電極（15），平板電極（15）位于鏡面（2）中軸線的一側；所述邊框（1）上加工有通孔（14），外部導線通過通孔內的金屬連接平板電極（15）。

3.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述鍵合底板（13）中部與鏡面（2）正對的位置加工為凹槽。

4.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述連接部（4）由上部的U型結構和下部的方形結構組成，方形結構與鏡面（2）連接；轉軸（3）一端連接邊框（1）的內側，另一端連接連接部（4）的U型結構的底部。

5.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述邊框（1）被多個隔離槽（5）分隔為左側驅動部（1-1）、中間偏轉部（1-2）和右側反饋部（1-3），所述轉軸（3）與偏轉部（1-2）連接；驅動部（1-1）的靜齒與連接部（4）的動齒組成驅動梳齒組（6），反饋部（1-3）的靜齒與連接部（4）的動齒組成反饋梳齒組（7）。

6.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述邊框（1）上加工有兩個半包圍的偏轉隔離槽（11），內部為偏轉部（1-2），偏轉部（1-2）連接轉軸（3）；偏轉隔離槽（11）外加工有反饋隔離槽（12），偏轉隔離槽（11）和反饋隔離槽（12）之間為反饋部（1-3），反饋隔離槽（12）外部為驅動部（1-1）；所述反饋隔離槽（12）的端部將連接部（4）側邊的梳齒組分為上下兩部分，位于反饋部（1-3）上遠離鏡面（2）的靜齒與對應的動齒組成反饋梳齒組（7），驅動部（1-1）內側的靜齒和對應的動齒組成驅動梳齒組（6）。

7.根據權利要求5或6所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述驅動部（1-1）表面加工有第一電極（8），用于和外部驅動裝置連接；偏轉部（1-2）表面加工有第二電極（9）；反饋部（1-3）表面加工有第三電極（10），用于與外部測試裝置連接。

8.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述連接部（4）加工為鏤空結構；所述梳齒為梯形或者三角形；所述鏡面（2）形狀為方形、圓形或者橢圓形。

9.根據權利要求1所述的靜電掃描微鏡，其特征在于：所述電極具有一大一小雙電極，小電極用于探針檢測芯片，大電極用于最終封裝引線鍵合。