[發明專利]一種用于晶圓背面涂覆的絕緣固晶膠及其制備方法

在審

• 申請號: 202010072510.5
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111187588A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 周振基;周博軒;胡松;羅永祥;石逸武
• 申請（專利權）人: 汕頭市駿碼凱撒有限公司
• 主分類號: C09J163/02
• 分類號: C09J163/02;C09J163/00;C09J163/04;C09J11/04;C09J11/06;C09J11/08;C08G59/50;H01L23/29
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230
• 代理人: 林天普;朱明華

1.一種用于晶圓背面涂覆的絕緣固晶膠，其特征在于含有下述配比的原料：環氧樹脂100份，芳香族多胺30-40份，非活性稀釋劑20-50份，偶聯劑0.5-5份，流平劑0.05-0.5份，促進劑0.05-0.2份，無機填料20-100份；所述100份環氧樹脂中包含10-50份聯苯型環氧樹脂。

2.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述聯苯型環氧樹脂是聯苯酚醛型環氧樹脂、4,4’-二羥基聯苯二縮水甘油醚、3,3',5,5'-四甲基聯苯二酚二縮水甘油醚、芴基聯苯二酚二縮水甘油醚中的一種或其中多種的混合。

3.根據權利要求1或2所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述100份環氧樹脂中包含10-50份聯苯型環氧樹脂，其余環氧樹脂是雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、脂環型環氧樹脂和酚醛環氧樹脂中的一種或其中多種的組合。

4.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述芳香族多胺是二氨基二苯砜和二氨基二苯甲烷中的一種或兩者的組合。

5.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述非活性稀釋劑為二乙二醇單乙基醚醋酸酯、乙二醇丁醚醋酸酯和丙二醇甲醚醋酸酯中的一種或其中多種的組合。

6.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述偶聯劑為3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、γ-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷中的一種或其中多種的組合。

7.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述流平劑為聚醚改性聚二甲基硅氧烷；所述促進劑為2-乙基-4-甲基咪唑或1-氰乙基-2-乙基-4-甲基咪唑。

8.根據權利要求1所述的絕緣固晶膠，其特征是：所述無機填料是平均粒徑為1-5um的球形氧化鋁和平均粒徑為1-5um的球形氧化硅中的一種或兩者的組合。

9.一種用于晶圓背面涂覆的絕緣固晶膠的制備方法，其特征在于包括下列步驟：

（1）按重量計，配備下述原料：環氧樹脂100份，其中聯苯型環氧樹脂10-50份；芳香族多胺30-40份；非活性稀釋劑20-50份；偶聯劑0.5-5份；流平劑0.05-0.5份；促進劑0.05-0.2份；無機填料20-100份；

（2）將環氧樹脂、芳香族多胺和非活性稀釋劑加入到反應容器中，使用加熱器將反應容器中的物料加熱至120-140℃，并進行攪拌，直至環氧樹脂和芳香族多胺完全溶解，得到樹脂溶液；隨后停止加熱，冷卻至20-30℃，備用；

（3）將步驟（2）制得的樹脂溶液和步驟（1）配備的偶聯劑、流平劑、促進劑和無機填料加入到離心式真空脫泡攪拌器中，在真空條件下進行攪拌，攪拌器轉速為1000-2000r/min，攪拌時間為30-60min，攪拌結束后得到用于晶圓背面涂覆的絕緣固晶膠。

10.根據權利要求9所述的絕緣固晶膠的制備方法，其特征是：步驟（3）中，攪拌結束后還進行研磨，之后過300目篩網，得到用于晶圓背面涂覆的絕緣固晶膠。