[發明專利]導電性流體用噴頭在審
| 申請號: | 202010070250.8 | 申請日: | 2020-01-21 |
| 公開(公告)號: | CN112495602A | 公開(公告)日: | 2021-03-16 |
| 發明(設計)人: | 小池大輔 | 申請(專利權)人: | 株式會社東芝;東芝電子元件及存儲裝置株式會社 |
| 主分類號: | B05B1/14 | 分類號: | B05B1/14 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿軍 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 導電性 流體 噴頭 | ||
1.一種導電性流體用噴頭,
在中央具備第1噴嘴;
在上述第1噴嘴的外側具備多個第2噴嘴;
在上述第1噴嘴及上述第2噴嘴的流體出口側具備凹型的流體保持容器;
上述第2噴嘴比上述第1噴嘴向上述流體出口側突出50μm以上150μm以下。
2.如權利要求1所述的導電性流體用噴頭,
上述第2噴嘴配置在以上述第1噴嘴為中心的圓周上。
3.如權利要求1或2所述的導電性流體用噴頭,
上述流體保持容器具有截錐體形狀;
上述流體保持容器的上表面的中央位于上述第1噴嘴的前端的中心。
4.如權利要求1或2所述的導電性流體用噴頭,
上述流體保持容器具有截錐體形狀;
上述截錐體形狀的斜邊與底面所成的角度是0度以上60度以下。
5.如權利要求1或2所述的導電性流體用噴頭,
上述第2噴嘴的前端是具有斜著的切口的圓筒形的噴嘴;
上述流體保持容器具有截錐體形狀;
上述截錐體形狀的斜邊沿著具有上述斜著的切口的第2噴嘴的前端。
6.如權利要求1或2所述的導電性流體用噴頭,
上述流體保持容器的中央的高度是H1;
上述流體保持容器的邊緣側的高度是H2;
H1和H2滿足0≤(H1-H2)/H1≤1。
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