[發(fā)明專利]一種干式無油密封螺桿真空泵

在審

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• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111188770A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳宇浩
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰全玉節(jié)能環(huán)保真空設(shè)備制造有限公司
• 主分類號: F04C18/16
• 分類號: F04C18/16;F04C25/02;F04C27/00;F04C29/00
• 代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32380
• 代理人: 孫燕波

本發(fā)明涉及一種干式無油密封螺桿真空泵，屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域。包括泵體，所述泵體兩端固定連接前端蓋、后端蓋，構(gòu)成一個密封的腔體，所述泵體上設(shè)有吸氣口和排氣孔；所述腔體內(nèi)設(shè)有一對具有一定間隙的變螺距螺桿：所述主變螺距螺桿和從變螺距螺桿兩端分別通過軸承固定于前軸承座和后軸承座內(nèi)，所述主變螺距螺桿和從變螺距螺桿排氣端軸端上分別設(shè)有組合密封裝置，所述組合密封裝置設(shè)于前端蓋內(nèi)，所述前端蓋與齒輪箱固定連接，所述齒輪箱內(nèi)設(shè)有兩傳動齒輪，兩所述傳動齒輪分別固定于變螺距螺桿上；所述主變螺距螺桿與電機的輸出軸固定連接。本申請大大提升了螺桿干式真空泵的抽氣性能，進(jìn)一步提高真空泵的可靠性、穩(wěn)定性和密封性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種干式無油密封螺桿真空泵，屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

螺桿干式真空泵是上世紀(jì)九十年初，伴隨歐美日等企業(yè)在LED導(dǎo)電薄膜、納米級微處理器、太陽能多晶硅等行業(yè)對無油高真空設(shè)備的迫切需求而發(fā)展起來的理想真空設(shè)備。由于螺桿干式真空泵具有真空高、抽氣性能穩(wěn)定、泵腔無油潔凈、結(jié)構(gòu)簡單、緊湊免維護(hù)、抽氣元件之間不接觸無摩擦、無廢氣、無廢液排放等特點，使之為目前世界上機械真空泵領(lǐng)域內(nèi)最理想的抽真空設(shè)備，已經(jīng)得到各行各業(yè)的廣泛認(rèn)可和使用。

最初螺桿干式真空泵僅僅在比較清潔的真空場合使用，被抽氣體都是比較干燥潔凈的氣體，被抽氣體或介質(zhì)對螺桿真空泵無腐蝕無污染，因此對螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)要求并不高。近20年來隨著全球各國對環(huán)境保護(hù)的重視，特別是化工、制藥、冶金等行業(yè)為了適應(yīng)節(jié)能減排的需要，螺桿干式真空泵在這些特殊行業(yè)逐步開始被使用。國內(nèi)螺桿干式真空泵起步相對歐美國家要晚一些，存在溫升太大、軸封使用壽命短、抽氣效率低等缺陷。國內(nèi)螺桿真空泵需求量非常大，國產(chǎn)螺桿真空泵產(chǎn)能較低而且質(zhì)量上與國外產(chǎn)品有一定差異，因此目前國內(nèi)螺桿真空泵主要依靠歐美進(jìn)口，而進(jìn)口螺桿真空泵的價格非常昂貴，而且交貨周期需要半年以上。

而決定螺桿干式真空泵可靠性的關(guān)鍵因素有二個，一個是螺桿泵的動密封可靠性，直接影響螺桿干式真空泵軸封泄漏，軸端動密封的可靠性問題長期困擾著國內(nèi)外真空泵制造企業(yè)；另一個是螺桿轉(zhuǎn)子的型線結(jié)構(gòu)，許多科研院所和大量制造企業(yè)都在不斷研究和改進(jìn)螺桿的型線，試圖找到一種抽氣效率高、真空度高、溫升低、性能穩(wěn)定、可靠性好的螺桿型線來實現(xiàn)螺桿干式真空泵性能上的飛躍進(jìn)步。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種干式無油密封螺桿真空泵，提高螺桿干式真空泵的抽氣性能和密封可靠性。

本發(fā)明解決上述問題所采用的技術(shù)方案為：一種干式無油密封螺桿真空泵，包括泵體，所述泵體的右端固定連接前端蓋，所述泵體的左端固定連接后端蓋，所述泵體與前端蓋和后端蓋構(gòu)成一個密封的腔體，位于所述后端蓋的泵體上設(shè)有吸氣口，位于所述前端蓋的泵體上設(shè)有排氣口；所述腔體內(nèi)設(shè)有一對具有一定間隙的變螺距螺桿：主變螺距螺桿和從變螺距螺桿；所述前端蓋內(nèi)固定設(shè)有前軸承座，所述后端蓋內(nèi)固定設(shè)有后軸承座，所述主變螺距螺桿和從變螺距螺桿兩端分別通過軸承固定于前軸承座和后軸承座內(nèi)，所述主變螺距螺桿和從變螺距螺桿排氣端軸端上分別設(shè)有組合密封裝置，所述組合密封裝置設(shè)于前端蓋內(nèi)，對兩變螺距螺桿排氣端軸端進(jìn)行密封；所述前端蓋與齒輪箱固定連接，所述齒輪箱內(nèi)設(shè)有兩傳動齒輪，兩所述傳動齒輪分別固定于變螺距螺桿上，且兩所述傳動齒輪相互嚙合；所述主變螺距螺桿通過聯(lián)軸器與電機的輸出軸固定連接；受電機驅(qū)動主變螺距螺桿旋轉(zhuǎn)，帶動傳動齒輪同步反向旋轉(zhuǎn)，使得兩變螺距螺桿作等速反向旋轉(zhuǎn)。

所述主變螺距螺桿和從變螺距螺桿分別包括吸氣螺距區(qū)、壓縮螺距區(qū)和排氣螺距區(qū)，所述吸氣螺距區(qū)與吸氣口相配合，所述排氣螺距區(qū)與出氣口相配合，所述吸氣螺距區(qū)的末端與排氣螺距區(qū)的起始端之間通過壓縮螺距區(qū)連接，吸氣螺距區(qū)的起始端到壓縮螺距區(qū)的終止端，其螺距逐漸變小；所述壓縮螺距區(qū)的起始端到排氣螺距區(qū)的尾端，其螺距逐漸變小。

所述壓縮螺距區(qū)的螺距逐漸變小，壓縮螺距區(qū)初始端的螺距與第一螺距區(qū)的螺距相同，所述壓縮螺距區(qū)終止端的螺距與排氣螺距區(qū)的螺距相同。