[發(fā)明專利]微腔型溫度傳感器及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010068836.0
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111220296A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01K11/32
• 分類號: G01K11/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及微腔型溫度傳感器及系統(tǒng)，具體而言，涉及溫度測量領(lǐng)域。當(dāng)使用該微腔型溫度傳感器對溫度進(jìn)行檢測的時候，該第一毛細(xì)玻璃管或第二毛細(xì)玻璃管靠近待測位置，并且入射光纖內(nèi)通入光，當(dāng)該第一毛細(xì)玻璃管或第二毛細(xì)玻璃管靠近待測位置的時候，溫度改變了傳感物質(zhì)部對光的折射率，從而改變了光在傳感物質(zhì)部的透射系數(shù)，由于光通過入射光纖進(jìn)入該傳感物質(zhì)部，之后在通過出射光纖射出，通過測量出射光纖中出射光的量，可以得到光的透射系數(shù)，根據(jù)透射系數(shù)與溫度的對應(yīng)關(guān)系，得到待測的溫度，由于本申請利用光的透射率特性來測量待測溫度，進(jìn)而減少了測量溫度的誤差，進(jìn)而使得對溫度的測量更加準(zhǔn)確。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及溫度測量領(lǐng)域，具體而言，涉及一種微腔型溫度傳感器及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

溫度是表示物體冷熱程度的物理量，微觀上來講是物體分子熱運(yùn)動的劇烈程度。溫度只能通過物體隨溫度變化的某些特性來間接測量，隨著科學(xué)的發(fā)展，對溫度測量的準(zhǔn)確性要求越來越高。

現(xiàn)有技術(shù)中，一般采用電子溫度計實(shí)現(xiàn)較為準(zhǔn)確的溫度測量，電子溫度計采用溫度傳感器，根據(jù)電阻和電流的關(guān)系完成對溫度的測量。

但是，在不同溫度下，電子溫度計的阻值會溫度的改變而改變，使得對溫度的測量不準(zhǔn)確。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種基于波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的氣體壓強(qiáng)探測器及系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中測量過程不方便和最終計算出的氣體壓強(qiáng)也不準(zhǔn)確的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案如下：

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種微腔型溫度傳感器，微腔型溫度傳感包括：入射光纖、出射光纖、傳感物質(zhì)部、第一毛細(xì)玻璃管和第二毛細(xì)玻璃管；

入射光纖和出射光纖相對設(shè)置，第一毛細(xì)玻璃管和第二毛細(xì)玻璃管分別設(shè)置在入射光纖和出射光纖的兩側(cè)，入射光纖、出射光纖、第一毛細(xì)玻璃管和第二毛細(xì)玻璃管之間形成了一個密封腔，密封腔中填充有傳感物質(zhì)部。

可選地，該傳感物質(zhì)部包括：第一傳感物質(zhì)膜和第二傳感物質(zhì)膜，第一傳感物質(zhì)膜和第二傳感物質(zhì)膜分別設(shè)置在密封腔內(nèi)，且均與第一毛細(xì)玻璃管和第二毛細(xì)玻璃管平行設(shè)置。

可選地，該第一傳感物質(zhì)膜貼附第一毛細(xì)玻璃管設(shè)置，第二傳感物質(zhì)膜貼附第二毛細(xì)玻璃管設(shè)置。

可選地，該微腔型溫度傳感器還包括第一金屬膜和第二金屬膜，第一金屬膜設(shè)置在第一傳感物質(zhì)膜和第一毛細(xì)玻璃管之間，第二金屬膜設(shè)置在第二傳感物質(zhì)膜和第二毛細(xì)玻璃管之間。

可選地，該第一金屬膜和第二金屬膜的材料均為貴金屬。

可選地，該微腔型溫度傳感器還包括傳感物質(zhì)塊，第一金屬膜和第二金屬膜上設(shè)置有多個孔，多個孔內(nèi)用于分別設(shè)置傳感物質(zhì)塊。

可選地，該傳感物質(zhì)部的材料為液體、氣體或者固體中任意一種。

可選地，該傳感物質(zhì)部的材料為二氧化釩。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了另一種微腔型溫度傳感系統(tǒng)，微腔型溫度傳感系統(tǒng)包括：光線檢測裝置和上述任意一項(xiàng)的微腔型溫度傳感器，光線檢測裝置與微腔型溫度傳感器的出射光纖連接，用于檢測出射光纖中出射的出射光。

本發(fā)明的有益效果是：