[發明專利]一種抽排裝置及激光切割裝置有效
| 申請號： | 202010068547.0 | 申請日： | 2020-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN111185667B | 公開（公告）日： | 2022-04-29 |
| 發明（設計）人： | 楊曉偉;王理華 | 申請（專利權）人： | 上海精測半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/16 | 分類號： | B23K26/16;B23K26/70;B23K26/38 |
| 代理公司： | 蘇州友佳知識產權代理事務所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 儲振 |
| 地址： | 201700 上海市青浦區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 裝置 激光 切割 | ||
1.一種抽排裝置，其特征在于，包括：
吸盤，所述吸盤形成抽吸室，抽吸室上方連接氣路管道，嵌置于抽吸室的內部并具有第一中空腔室的氣旋環，至少一個連接至氣旋環的進氣管，以及與氣路管道連通的抽吸管道；
所述抽吸室、氣路管道以及抽吸管道所形成的腔體構成主抽排通道；
所述抽吸管道的頂部形成供激光貫穿所述抽吸管道、氣路管道、抽吸室至被切割物料的覆蓋件，所述氣旋環的上表面開設多個出氣孔，所述出氣孔為能形成向上傾斜的氣流的開口，多股所述向上傾斜的氣流共同形成旋升氣流。
2.根據權利要求1所述的抽排裝置，其特征在于，
所述吸盤具有第二中空腔室；
抽排裝置還包括：
至少一個與所述吸盤的第二中空腔室連通的出氣管，
所述吸盤的底部開設若干輔助抽吸口，所述輔助抽吸口、第二中空腔室與出氣管形成輔助抽排通道。
3.根據權利要求2所述的抽排裝置，其特征在于，所述氣旋環嵌置于抽吸室的內壁面，所述第一中空腔室呈環形；
所述進氣管貫穿吸盤的第二中空腔室，并橫向接入氣旋環。
4.根據權利要求1所述的抽排裝置，其特征在于，所述覆蓋件為密封鏡頭或者平板玻璃。
5.根據權利要求1所述的抽排裝置，所述抽吸管道的兩端端部呈敞口結構，第一端與空氣輸送裝置連接，第二端與抽吸裝置連接。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的抽排裝置，其特征在于，所述氣路管道形成向上收縮并與抽吸管道連通的錐形腔體。
7.根據權利要求2所述的抽排裝置，其特征在于，所述輔助抽吸口配置為若干弧形狹縫。
8.根據權利要求7所述的抽排裝置，其特征在于，所述輔助抽吸口包括若干分離的弧形狹縫組成的至少兩圈狹縫環，相鄰兩圈狹縫環所包含的弧形狹縫環沿吸盤的徑向方向存在部分重合。
9.根據權利要求2所述的抽排裝置，其特征在于，所述吸盤配置呈軸對稱設置并與所述吸盤的第二中空腔室連通的偶數個出氣管。
10.一種激光切割裝置，其特征在于，包括：
承載物料的載臺，激光發生器，以及配置于載臺與激光發生器之間的如權利要求1至9中任一項所述的抽排裝置；
所述激光發生器包括二氧化碳激光發生器和/或UV激光發生器。
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