[發明專利]一種基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器

有效

• 申請號: 202010068181.7
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111239082B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 司光遠;孔魯;蘇金鑫;王祿豐;楊冀銘;莫欣偉
• 申請（專利權）人: 東北大學秦皇島分校
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552;G01N21/01
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 陳曦

1.一種基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，包括：耦合棱鏡、上金屬薄膜層、金屬光柵層、下金屬薄膜層和石墨烯層；所述上金屬薄膜層附于金屬光柵層的上表面，所述下金屬薄膜層附于金屬光柵層的下表面，所述耦合棱鏡設置于所述下金屬薄膜層的下方；所述石墨烯層作為生物分子識別層覆蓋在上金屬薄膜層之上與待測介質接觸。

2.根據權利要求1所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子共振傳感器，其特征在于，所述金屬光柵層的光柵脊高度為10～100nm，光柵脊寬度為15～50nm，光柵周期為60～140nm。

3.根據權利要求2所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，所述金屬光柵層的光柵脊高度為50nm，光柵脊寬度為50nm，光柵周期為100nm。

4.根據權利要求1所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，所述上金屬薄膜層的厚度為10～40nm，下金屬薄膜層厚度為10～50nm。

5.根據權利要求4所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，所述上金屬薄膜層的厚度為15nm，下金屬薄膜層的厚度為10nm。

6.根據權利要求1所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，所述耦合棱鏡采用BK7玻璃的半球形棱鏡，所述耦合棱鏡的折射率大于或等于待測物的折射率。

7.根據權利要求1所述的基于石墨烯-銀光柵的表面等離子體共振傳感器，其特征在于，所述上金屬薄膜層和下金屬薄膜層均為銀薄膜層，金屬光柵層為銀光柵層。