[發明專利]用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法

在審

• 申請號: 202010067987.4
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111192813A
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 郭小勇;易治凱;汪濤;凌俊
• 申請（專利權）人: 江蘇愛康能源研究院有限公司;浙江愛康光電科技有限公司;江蘇愛康科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309
• 代理人: 張曉斐

本發明涉及的一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，它包括以下內容：使用耐高溫磨砂膠帶粘貼覆蓋TCP擋板與頂部金屬遮罩，然后連續生產，在下次維護時撕去膠帶并重新粘貼新膠帶，然后合腔重新抽真空。本發明提升了量產設備的使用壽命，從而提升產能；減少了金屬遮罩清洗噴砂處理，節約了維護成本；本發明制備的TCO可提高HJT太陽能電池的外觀良率，還可減少掉粉污染對HJT太陽能電池開路電壓和短路電流的影響，從而提升電池的光電轉換效率。

技術領域

本發明涉及光伏高效電池技術領域，尤其涉及一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法。

背景技術

由于HJT電池發射極是用非晶硅制備的，該層的橫向導電性比較差，所以必須在發射極的上面制備一層TCO導電膜，其主要作用是將載流子輸運到電池電極，同時保護P型非晶硅摻雜層和N型非晶硅摻雜層。TCO薄膜性能的好壞關乎HJT電池轉換效率的高低，因此，制備性能優異的TCO薄膜對于進一步提高HJT電池轉換效率意義重大。

目前采用RPD(反應等離子蒸鍍)設備制備TCO膜相對于傳統的PVD（磁控濺射）設備鍍膜具有光學性能好、電學性能好、低損傷等特性，即高透過所以高電流、高遷移率低載流子濃度、較低的襯底表面轟擊，更符合工藝的要求；然而當前的RPD鍍膜設備普遍存在掉粉現象，設備工作時游離于設備腔體內的TCO粉塵經工藝氣體吹掃吸附到硅片表面，這種潔凈度降低、外觀不良造成了效率與良率的重大損失，常因此需要經常開腔清潔維護，不符合批量生產要求，生產效率低。

發明內容

本發明的目的在于克服上述不足，提供一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，提高HJT太陽能電池的外觀良率，同時短時間的維護可提高量產設備的使用壽命，降低維護成本。

本發明的目的是這樣實現的：

一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，它包括以下內容：使用耐高溫磨砂膠帶粘貼覆蓋TCP擋板與頂部金屬遮罩，然后連續生產，在下次維護時撕去膠帶并重新粘貼新膠帶，然后合腔重新抽真空。

一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，在設備保持余溫且未充分吸附空氣中的水汽時重新抽真空。

一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，所述耐高溫磨砂膠采用粗糙面、耐高溫型。

一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，所述耐高溫磨砂膠粘合劑采用無殘留無揮發污染型。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

本發明使用耐高溫磨砂膠帶粘貼覆蓋TCP擋板與頂部金屬遮罩，可增強粉塵顆粒吸附能力，延長維護周期，提升了量產設備的使用壽命，從而提升產能；減少了金屬遮罩清洗噴砂處理，節約了維護成本；本發明制備的TCO可提高HJT太陽能電池的外觀良率，還可減少掉粉污染對HJT太陽能電池開路電壓和短路電流的影響，從而提升電池的光電轉換效率。

具體實施方式

實施例1：

本發明涉及的一種用于異質結太陽能電池TCO鍍膜的RPD設備維護方法，它包括以下內容：

（1）維護時TCP擋板與頂部金屬遮罩使用耐高溫磨砂膠帶粘貼覆蓋，維護后連續生產；

（2）硅片表面有明顯粉塵附著時開始開腔維護（此時為第10天）；

（3）破真空、開腔蓋，開始計時；

（4）撕掉TCP擋板與頂部金屬遮罩膠帶，吸塵器清潔工藝腔室，粘貼新的膠帶，計時共38min；

（5）紅外測溫槍量測工藝腔體溫度為68℃，開始計時；