[發(fā)明專利]一種活化銅材拋光廢液的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010067522.9
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111155095A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉鋒;劉子林
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市美貝仕銅材處理劑開發(fā)有限公司
• 主分類號: C23F3/06
• 分類號: C23F3/06;C23G1/10
• 代理公司: 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44215
• 代理人: 趙超群

1.一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：包括如下步驟：向每升銅材拋光廢液中加入0.1-2mol雙氧水?dāng)嚢杈鶆颍椿罨鲢~材拋光廢液；所述銅材拋光廢液含F(xiàn)e²⁺，所述銅材拋光廢液是由銅材拋光液處理銅材后形成的廢液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光液包括銅材拋光預(yù)處理液，所述銅材拋光預(yù)處理液包含F(xiàn)e³⁺、Cl^-和SO₄^2-，所述Fe³⁺、Cl^-和SO₄^2-的摩爾比為0.4-1.8：1.2-7.4：0-3，所述銅材拋光預(yù)處理液的pH值≤3。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光預(yù)處理液還包含光亮劑，每升所述銅材拋光預(yù)處理液加入所述光亮劑的重量為1-10g；所述光亮劑為聚乙二醇、丙二醇、乙二醇和甘油中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光預(yù)處理液還包含穩(wěn)定劑，所述穩(wěn)定劑與Fe³⁺的摩爾比為0-1：0.4-1.8；所述穩(wěn)定劑為硫酸鈉、硫酸銅和檸檬酸中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任意一項(xiàng)所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光預(yù)處理液的制備方法包括如下步驟：按上述摩爾比的成分混合均勻并保證pH值≤3，得到銅材拋光預(yù)處理液。

6.根據(jù)權(quán)利要求2-4任意一項(xiàng)所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光預(yù)處理液的使用方法包括如下步驟：將待處理的銅材放入銅材拋光預(yù)處理液中進(jìn)行拋光預(yù)處理，拋光預(yù)處理時間為5-80s；所述待處理的銅材在拋光預(yù)處理的過程中，維持所述銅材拋光預(yù)處理液的pH值≤3。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材拋光液還包括銅材酸洗拋光液，所述銅材酸洗拋光液由如下重量百分比的原料組成：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述氯酸鹽為氯酸鉀、氯酸鈉、氯酸鈣和氯酸鎂中的至少一種；所述過硫酸鹽為過硫酸鉀、過硫酸鈉和過硫酸銨中的至少一種；所述次氯酸鹽為次氯酸鉀、次氯酸鈉和次氯酸鈣中的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述復(fù)合助劑由絡(luò)合劑0.3-0.8％和非離子表面活性劑0.6-1.3％組成；所述絡(luò)合劑由EDTA0.1-0.3％和酒石酸鉀鈉0.2-0.5％組成；所述非離子表面活性劑由脂肪胺聚氧乙烯醚0.5-0.8％和烷基酚聚氧乙烯醚0.1-0.5％組成。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種活化銅材拋光廢液的方法，其特征在于：所述銅材酸洗拋光液的制備方法包括如下步驟：按重量百分比稱取各原料混合均勻，制得銅材酸洗拋光液。