[發明專利]一種基于紅外增透膜的高精度溫度傳感器裝置

在審

• 申請號: 202010066755.7
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN111157121A
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 鄧海勤;高志勇;王強;侯越
• 申請（專利權）人: 愛動超越人工智能科技（北京）有限責任公司
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;C23C14/30;C23C14/16;C23C14/18;C22C1/02;C22C30/06
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1.一種基于紅外增透膜的高精度溫度傳感器裝置，其特征在于，包括依次設置的透鏡、濾光片、調制盤、紅外探測器、前置放大器、選頻放大器、同步檢波電路、加法器、發射率調節電路、A/D變換器、數碼顯像管；多諧振蕩器連接同步檢波電路和步進電機，所述步進電機連接調制盤；調制盤周圍還設有與依次與放大電路及加法相連的環境溫度傳感器；透鏡表面蒸鍍有紅外增透膜，紅外增透膜的底層為鋅鎂銫釔合金層，上層為常規DLC層。

2.根據權利要求1所述的基于紅外增透膜的高精度溫度傳感器裝置，其特征在于，鋅鎂銫釔合金的制備方法為：用王水和乙醇先后分別處理坩堝，再用去離子水沖洗后烘干，將坩堝處于可密閉系統中并加熱到600℃，然后加入質量分數比為9:(2-0.5):9:10的Zn、Mg、Se、Y，再向坩堝內通入氬氣，密閉系統，維持真空至2×10^-3～6×10^-3 Pa，然后升溫室960℃，維持12h，再以20-40℃/h的速度降至常溫，即得。

3.根據權利要求1所述的基于紅外增透膜的高精度溫度傳感器裝置，其特征在于，紅外增透膜的蒸鍍方法為：采用電子束加熱蒸法，以離子束壓550-750eV，控制離子束流25-55mA，以0.2-1.0nm/s的速率在透鏡基底表面濺射一層厚度為厚λ/16-λ/2的膜，濺射時間10-25min，退火后得鋅鎂銫釔合金層；常規方法鍍制λ/4厚度的DLC膜。

4.根據權利要求1所述的基于紅外增透膜的高精度溫度傳感器裝置，其特征在于，透鏡的基底材料為鍺、硅、硫化鋅或硒化鋅。

5.一種能用作紅外增透膜的鋅鎂銫釔合金，其特征在于，制備方法為：用王水和乙醇先后分別處理坩堝，再用去離子水沖洗后烘干，將坩堝處于可密閉系統中并加熱到600℃，然后加入質量分數比為9:(2-0.5):9:10的Zn、Mg、Se、Y，再向坩堝內通入氬氣，密閉系統，維持真空至2×10^-3～6×10^-3 Pa，然后升溫室960℃，維持12h，再以20-40℃/h的速度降至常溫，即得。