[發明專利]一種惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 202010066647.X
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111238671A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 龐繼紅;陸雨姚;楊煥;曹宇
• 申請（專利權）人: 溫州大學
• 主分類號: G01K7/16
• 分類號: G01K7/16;G01K1/12;C23C14/12
• 代理公司: 溫州金甌專利事務所(普通合伙) 33237
• 代理人: 陳暉

1.一種惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器,其特征在于，包括聚酰亞胺薄膜基層，所述的聚酰亞胺薄膜基層上設有聚二甲基硅氧烷熱絕緣層，所述的聚二甲基硅氧烷熱絕緣層上具有凹陷腔體，所述的聚酰亞胺薄膜基層與聚二甲基硅氧烷熱絕緣層緊密貼合，所述的凹陷腔體與聚酰亞胺薄膜基層間形成惰性氣體腔，所述的惰性氣體腔內填充有惰性氣體，所述的惰性氣體腔內設有溫度傳感器，所述的聚酰亞胺薄膜基層上印刷制備有銀漿作為電極，所述的溫度傳感器印刷于聚酰亞胺薄膜基層上的電極上，所述的溫度傳感器上還覆蓋有用于保護溫度傳感器的聚對二甲苯薄膜。

2.根據權利要求1所述的惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器，其特征在于，所述的惰性氣體為氬氣、氪氣或氙氣中的一種。

3.根據權利要求1所述的惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器，其特征在于，所述的凹陷腔體的深度為2mm。

4.根據權利要求1所述的惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器，其特征在于，所述的聚酰亞胺薄膜基層的厚度為40μm。

5.一種權利要求1所述的惰性氣體保護的高精確度柔性溫度傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）以柔性聚酰亞胺薄膜作為稱底，利用絲網印刷法在其上印刷制備銀漿作為電極，放置于90℃烘箱中烘烤1小時；

（2）將聚3,4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸（PEDOT/PSS）與碳納米管溶液進行3:1混合均勻，利用掩膜板將其印刷于步驟（1）制備的銀電極上，在70℃烘箱中烘烤1小時形成穩定的柔性溫度傳感器；

（3）利用氣象沉積法在制備的柔性溫度傳感器上沉積聚對二甲苯薄膜來保護傳感器；

（4）將聚二甲基硅氧烷（PDMS）膠體倒入3D打印的模具中，在90℃烘箱中固化2小時，從模具中剝離固化后的聚二甲基硅氧烷（PDMS）膠體，獲得帶有凹陷腔體的聚二甲基硅氧烷熱絕緣層結構；

（5）將制備的帶有凹陷腔體的聚二甲基硅氧烷熱絕緣層結構與制備的柔性溫度傳感器在惰性氣體環境下緊密結合，，最終獲得由惰性氣體保護的柔性溫度傳感器。