[發(fā)明專利]顯示基板及其制備方法、顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010066338.2
• 申請(qǐng)日: 2020-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111208919B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉弘;王鳳國(guó);武新國(guó);郭志軒;崔玉琳;王海東;馮宇;田亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G06F3/041
• 分類號(hào): G06F3/041;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京博思佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11415
• 代理人: 曾鶯華

1.一種顯示基板，其特征在于，所述顯示基板包括層疊設(shè)置的層間絕緣層、金屬層以及平坦層，所述金屬層包括漏極和觸控線；所述平坦層對(duì)應(yīng)于所述漏極的位置開(kāi)設(shè)有第一通孔、對(duì)應(yīng)于所述觸控線的位置開(kāi)設(shè)有第二通孔；

其中，所述平坦層還開(kāi)設(shè)有防斷裂凹槽，所述防斷裂凹槽位于相鄰的所述第一通孔與所述第二通孔之間，所述防斷裂凹槽的深度大于或等于所述平坦層的厚度的一半，且小于或等于所述平坦層的厚度。

2.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，當(dāng)所述防斷裂凹槽的深度大于或等于所述平坦層的厚度的一半，且小于所述平坦層的厚度時(shí)，所述防斷裂凹槽下方的所述平坦層分別與所述漏極的上表面形成第一夾角，與所述觸控線的上表面形成第二夾角，所述第一夾角與所述第二夾角均為60度～70度。

3.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述顯示基板還包括依次覆設(shè)于所述平坦層上的公共電極、絕緣層以及像素電極，其中，所述像素電極與所述漏極通過(guò)第一通孔連接，所述公共電極通過(guò)所述第二通孔與所述觸控線連接。

4.如權(quán)利要求3所述的顯示基板，其特征在于，當(dāng)所述防斷裂凹槽的深度等于所述平坦層的厚度時(shí)，位于所述防斷裂凹槽內(nèi)的所述絕緣層，直接位于所述漏極、以及所述漏極和所述觸控線之間露出的所述層間絕緣層上。

5.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述防斷裂凹槽的長(zhǎng)度等于所述第一通孔與所述第二通孔之間的距離。

6.如權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第一通孔的寬度大于所述第二通孔的寬度，所述防斷裂凹槽與所述第一通孔連接的一端的寬度大于或等于所述第二通孔的寬度，且小于或等于所述第一通孔的寬度；所述防斷裂凹槽與所述第二通孔連接的一端的寬度等于所述第二通孔的寬度。

7.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括如權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的顯示基板。

8.一種顯示基板的制備方法，其特征在于，所述顯示基板的制備方法用于制備權(quán)利要求1所述的顯示基板，所述顯示基板的所述防斷裂凹槽的深度大于或等于所述平坦層的厚度的一半，且小于所述平坦層的厚度，所述顯示基板的制備方法包括以下步驟：

在所述層間絕緣層上形成所述金屬層；

在所述金屬層以及露出的所述層間絕緣層形成平坦膜層，通過(guò)掩模板對(duì)所述平坦膜層圖形化以形成所述平坦層，其中，所述掩模板包括遮擋區(qū)、透光區(qū)和半透光區(qū)，所述透光區(qū)位于對(duì)應(yīng)所述第一通孔和第二通孔的位置，所述半透光區(qū)對(duì)應(yīng)所述防斷裂凹槽的位置。

9.一種顯示基板的制備方法，其特征在于，所述顯示基板的制備方法用于制備權(quán)利要求1所述的顯示基板，所述顯示基板的所述防斷裂凹槽等于所述平坦層的厚度，所述顯示基板的制備方法包括以下步驟：

在所述層間絕緣層上形成所述金屬層；

在所述金屬層以及露出的所述層間絕緣層形成平坦膜層，通過(guò)掩模板對(duì)所述平坦膜層圖形化以形成所述平坦層，其中，所述掩模板包括遮擋區(qū)和透光區(qū)，所述透光區(qū)位于對(duì)應(yīng)所述第一通孔、所述第二通孔以及所述防斷裂凹槽的位置。