[發明專利]一種環境可控的微型測試系統

有效

• 申請號: 202010066243.0
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN111239586B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 李運甲;竇偉滔
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01M11/00;G01M7/02;G01B11/26;G01D18/00;G01R1/04
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 孟大帥

本發明公開了一種環境可控的微型測試系統，包括：測試殼體，所述測試殼體內設空腔，所述空腔的環境可控；所述測試殼體內設置有溫濕度傳感器、加熱裝置和制冷裝置；所述測試殼體的外壁設置有固定孔；控制殼體，所述控制殼體內設置有測試電路、控制電路、顯示電路和濕度調節裝置；所述濕度調節裝置通過管路與測試殼體的空腔相連通，用于導入和導出一定濕度的氣體；控制電路用于控制加熱裝置、濕度調節裝置；微處理器，所述微處理器通過排線與測試殼體連接，用于數據讀取、信號處理與控制、數據顯示。本發明的體積小，重量輕，安裝方便；其高度模塊化，便于與其他測試系統集成。

技術領域

本發明屬于電氣工程以及儀器科學與技術領域，涉及電學測量與光學測量技術領域，特別涉及一種環境可控的微型測試系統。

背景技術

目前，公知的環境可控測試系統的環境控制、測試和被測器件都集成在一個殼體中，因此現有的環境可控自動測試系統(例如深圳大學納米表面科學與工程研究所研發的環境可控超低摩擦測試系統)存在以下幾個缺陷：

(1)體積大，質量重，安裝不便；

(2)測試內容固定，且不便與其他測試系統相互集成完成更加復雜多變的測試項目。

當今器件的測試日漸復雜化、多樣化，擁有單一功能的測試系統并不能滿足當今器件的測試需求；不同類型器件的測試內容不盡相同，迫切需要一款有著核心測試內容又方便集成在其他測試系統中的模塊化的微型測試系統。

發明內容

本發明的目的在于提供一種環境可控的微型測試系統，以解決上述存在的一個或多個技術問題。本發明所提出的測試系統，體積小，重量輕，安裝方便；其高度模塊化，便于與其他測試系統集成，可完成對被測器件不同內容的測試。

為達到上述目的，本發明采用以下技術方案：

本發明的一種環境可控的微型測試系統，包括：

測試殼體，所述測試殼體內設空腔，所述空腔的環境可控，用于安裝待測試器件；所述測試殼體內設置有溫濕度傳感器、加熱裝置和制冷裝置；其中，所述溫濕度傳感器用于檢測待測試器件的溫濕度；所述加熱裝置用于加熱待測試器件和溫濕度傳感器；所述制冷裝置用于對測試殼體內部環境進行制冷；所述測試殼體的外壁設置有固定孔，用于將所述測試殼體根據待測試器件的測試需要集成在其他不同的測試系統中；

控制殼體，所述控制殼體內設置有測試電路、控制電路、顯示電路和濕度調節裝置；其中，測試電路通過排線與測試殼體連接，用于對待測試器件進行電學、光學測試；顯示電路用于顯示待測器件的測量數據與當前測試殼體內部的溫濕度；所述濕度調節裝置通過管路與測試殼體的空腔相連通，用于導入和導出一定濕度的氣體；控制電路用于控制加熱裝置、濕度調節裝置，實現測試殼體內部恒溫恒濕；

微處理器，所述微處理器通過排線與測試殼體連接，用于數據讀取、信號處理與控制、數據顯示；其中，所述微處理器用于將測試電路獲取的模擬信號轉換為數字信號，通過顯示電路將數據顯示。

本發明的進一步改進在于，所述加熱裝置采用陶瓷加熱片。

本發明的進一步改進在于，所述測試殼體內設置有載物臺；所述載物臺包括上片和下片，所述上片用于安裝待測試器件，所述下片安裝有溫濕度傳感器；所述陶瓷加熱片設置于所述上片和下片之間。

本發明的進一步改進在于，所述制冷裝置為水冷管，用于實現間接制冷；或者，所述制冷裝置為半導體制冷片，用于直接制冷，最大溫差能夠達到60℃。

本發明的進一步改進在于，所述測試殼體設置有光學觀察窗，用于觀察測試器件的工作狀態；所述測試殼體設置有航空排插，用于提供測試殼體內外部的電氣連接。

本發明的進一步改進在于，所述測試殼體的空腔的底面為山谷狀，兩側高中部低，前高后低；所述測試殼體設置有平衡氣壓閥，用于排出測試殼體內部出現的水珠。