[發(fā)明專(zhuān)利]外延設(shè)備的測(cè)溫裝置以及外延設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010065733.9
• 申請(qǐng)日: 2020-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111254487B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏振軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B23/02
• 分類(lèi)號(hào): C30B23/02;C30B25/16;G01K7/02
• 代理公司: 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 蘭天爵

1.一種外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，用于對(duì)所述外延設(shè)備進(jìn)行溫場(chǎng)標(biāo)定時(shí)，測(cè)量所述外延設(shè)備反應(yīng)腔室(14)中校溫托盤(pán)(13)的溫度，其特征在于，所述測(cè)溫裝置包括：

溫度傳感器，所述溫度傳感器可選擇性地插設(shè)于所述校溫托盤(pán)(13)內(nèi)，用于檢測(cè)所述校溫托盤(pán)(13)的溫度；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述溫度傳感器沿所述校溫托盤(pán)(13)的徑向移動(dòng)；

通過(guò)所述溫度傳感器、所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述校溫托盤(pán)(13)之間的配合，以獲得整個(gè)晶圓區(qū)域內(nèi)熱場(chǎng)的溫度分布情況。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述溫度傳感器為熱電偶(2)，所述熱電偶(2)的部分插設(shè)于所述校溫托盤(pán)(13)內(nèi)，且沿所述校溫托盤(pán)(13)的徑向設(shè)置，另一部分設(shè)于所述反應(yīng)腔室(14)外。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于所述反應(yīng)腔室(14)外部，包括導(dǎo)軌(5)、密封連接板(8)、波紋管(12)、底座(4)和密封連接機(jī)構(gòu)(3)，所述密封連接機(jī)構(gòu)(3)密封連接于所述反應(yīng)腔室(14)，所述底座(4)密封連接于密封連接機(jī)構(gòu)(3)，所述熱電偶(2)穿過(guò)所述密封連接機(jī)構(gòu)(3)和所述底座(4)密封連接于所述密封連接板(8)，所述波紋管(12)套設(shè)于所述熱電偶(2)上，所述波紋管(12)的兩端分別密封連接于所述底座(4)和所述密封連接板(8)，所述導(dǎo)軌(5)固定連接于所述底座(4)，所述密封連接板(8)能夠沿所述導(dǎo)軌(5)滑動(dòng)從而帶動(dòng)所述熱電偶(2)沿所述校溫托盤(pán)(13)的徑向移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括平行于所述導(dǎo)軌(5)設(shè)置的絲杠(6)，所述密封連接板(8)上設(shè)有與所述絲杠(6)配合連接的螺紋孔，所述絲杠(6)傳動(dòng)連接于所述螺紋孔內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述絲杠(6)的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述底座(4)，另一端設(shè)有搖臂(11)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，還包括位置測(cè)量部件，所述位置測(cè)量部件用于測(cè)量所述溫度傳感器與所述校溫托盤(pán)(13)的相對(duì)位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述位置測(cè)量部件包括標(biāo)尺(7)和指針(9)，所述標(biāo)尺(7)沿所述導(dǎo)軌(5)的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述指針(9)設(shè)置于所述密封連接板(8)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，還包括固定架(10)，所述導(dǎo)軌(5)的一端連接于所述底座(4)，另一端連接于所述固定架(10)，和/或所述標(biāo)尺(7)的一端連接于所述底座(4)，另一端連接于所述固定架(10)，和/或所述絲杠(6)的一端連接于所述底座(4)，另一端連接于所述固定架(10)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的外延設(shè)備的測(cè)溫裝置，其特征在于，還包括溫度顯示器(15)，所述溫度顯示器(15)與所述溫度傳感器連接，用于顯示所述溫度傳感器檢測(cè)的溫度值。

10.一種外延設(shè)備，其特征在于，包括反應(yīng)腔室、設(shè)于所述反應(yīng)腔室內(nèi)的校溫托盤(pán)、以及根據(jù)權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的測(cè)溫裝置。